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公开(公告)号：CN113063967A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110190572.0
申请日：2021-02-18
Applicant: 上海大学
IPC: G01Q30/20
Abstract: 本发明公开了一种可放置三维原子探针微尖阵列样品的旋转样品台，由于三维原子探针激光模式光路设计的问题，不能同时大批量分析微尖阵列样品，需要设计一种可以自由旋转的样品台，提高实验效率。本旋转样品台主要包括固定装置，齿条，齿轮，以及转动轴。三维原子探针微尖阵列台上有四排针尖阵列，在分析时由于针尖互相遮挡激光的问题，四排阵列上的纳米针尖无法同批次完成分析，两排分析完后需转动180°后方可分析另两排。本设备通过齿轮与齿条的传动，进而带动转动轴，可实现微尖阵列样品的转动，在不需要将其取出仪器的前提下实现转动，大大提高测试效率。
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公开(公告)号：CN112782198B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202011428090.6
申请日：2020-12-07
Applicant: 上海大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20025 , H01J37/20 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，包括针尖样品支撑台、普通样品台匹配台和样品转接部分，所述针尖样品支撑台安装在普通样品台匹配台上，样品转接部分对普通样品台匹配台进行固定。用于扫描电子显微镜、EBSD‑TKD、透射电子显微镜、聚焦离子束、三维原子探针等显微组织分析仪器的联用。本发明利用多种显微组织分析原有的普通样品台实现对三维原子探针针尖样品的透射电镜分析、扫描电镜分析、聚焦离子束、EBSD或TKD分析。本发明装置结构简单，便于加工和维护，成本极低，可在透射电子显微镜内实现样品双倾，可直接将三维原子探针针尖样品在不同显微组织分析仪器中观察，实现多种仪器设备优势互补。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118073166A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410210904.0
申请日：2024-02-26
Applicant: 上海大学
IPC: H01J37/32 , H01J37/317 , H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种光电子能谱仪XPS离子束刻蚀位置校正方法，属于离子束应用技术领域，包括：制备用于刻蚀校正的样品；通过小步长依次微调离子束刻蚀偏离电压，离子束束斑，改变样品刻蚀位置；通过改变样品刻蚀位置调整离子束束斑作用位置，使所述离子束束斑作用位置偏离中心逐步变小，直至调整到准确的中心位置。本发明可快速、方便、通过简单调整离子束作用参数达到校正离子束刻蚀位置，设计方便、快速，成本较低，实用性更强，可广泛应用于金属材料、薄膜材料、半导体、微电子等领域，也可在其它离子束领域广泛应用，有着广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN112782198A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011428090.6
申请日：2020-12-07
Applicant: 上海大学
IPC: G01N23/04 , G01N23/2251 , G01N23/2204 , G01N23/20025 , H01J37/20 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种多设备联用的三维原子探针样品通用接口装置，包括针尖样品支撑台、普通样品台匹配台和样品转接部分，所述针尖样品支撑台安装在普通样品台匹配台上，样品转接部分对普通样品台匹配台进行固定。用于扫描电子显微镜、EBSD‑TKD、透射电子显微镜、聚焦离子束、三维原子探针等显微组织分析仪器的联用。本发明利用多种显微组织分析原有的普通样品台实现对三维原子探针针尖样品的透射电镜分析、扫描电镜分析、聚焦离子束、EBSD或TKD分析。本发明装置结构简单，便于加工和维护，成本极低，可在透射电子显微镜内实现样品双倾，可直接将三维原子探针针尖样品在不同显微组织分析仪器中观察，实现多种仪器设备优势互补。
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公开(公告)号：CN116354361A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202310338183.7
申请日：2023-03-31
Applicant: 上海大学
IPC: C01B39/14
Abstract: 本发明涉及一种扩孔的改性分子筛及其制备方法，其制备方法为首先对毫克或者微克级分子筛进行电子束的原位辐照和观测，直接观测到分子筛孔的扩展，初步验证分子筛电子束辐照扩孔的可行性；然后进行克量级分子筛的增量作业；最后以全自动微孔物理吸附分析仪和扫描电镜进行比表面、孔径分析和形貌表征。相比电子束辐照扩孔改性前的分子筛，改性分子筛的骨架结构不发生明显改变，比表面增加了1.5倍以上，孔径从微孔扩大到中孔。与现有技术相比，本发明的制备方法简单、可控，扩孔效果明显，整个过程不添加任何化学物质，绿色环保，无辐射残留；摈弃了酸或碱扩孔改性技术存在的污染、繁琐等缺陷，具有潜在的应用前景。
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公开(公告)号：CN113063967B
公开(公告)日：2023-02-10
申请号：CN202110190572.0
申请日：2021-02-18
Applicant: 上海大学
IPC: G01Q30/20
Abstract: 本发明公开了一种可放置三维原子探针微尖阵列样品的旋转样品台，由于三维原子探针激光模式光路设计的问题，不能同时大批量分析微尖阵列样品，需要设计一种可以自由旋转的样品台，提高实验效率。本旋转样品台主要包括固定装置，齿条，齿轮，以及转动轴。三维原子探针微尖阵列台上有四排针尖阵列，在分析时由于针尖互相遮挡激光的问题，四排阵列上的纳米针尖无法同批次完成分析，两排分析完后需转动180°后方可分析另两排。本设备通过齿轮与齿条的传动，进而带动转动轴，可实现微尖阵列样品的转动，在不需要将其取出仪器的前提下实现转动，大大提高测试效率。
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公开(公告)号：CN206564234U
公开(公告)日：2017-10-17
申请号：CN201720131995.4
申请日：2017-02-14
Applicant: 上海大学
IPC: H01J37/20
Abstract: 本实用新型涉及一种透射电子显微镜双倾样品台和铍样品台通用样品固定夹，其主要特点是在样品固定夹的固定螺丝孔和样品压环之间采用索穹顶结构（F），替代了现有的双倾样品台样品固定夹的平直设计（E），解决了由于铍样品台承载样品区域周边凸起（G）而引起的，现有双倾样品台样品固定夹在铍样品台上不能固定样品的问题，实现了样品固定夹在两种样品台上的通用（H）。另外，本实用新型样品固定夹使用钼、镍等非铜材质时，样品固定夹又可替代原铍样品台使用的铍压环设计，在两种样品台上都可实现对含铜样品的测定。
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