温度智能感知系统及制备方法及测试方法

    公开(公告)号:CN118960981A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202410913735.7

    申请日:2024-07-08

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明提供了温度智能感知系统及制备方法及测试方法,包括:突触晶体管,所述突触晶体管包括:衬底;位于衬底上的源电极、漏电极和栅电极;位于所述源极第一结构和所述漏极第一结构上的沟道层;位于衬底上的绝缘保护层,所述绝缘保护层分别露出源电极、栅电极、漏电极和沟道层;覆盖沟道层和栅电极的电解质层;温度传感层,被设置覆盖在栅电极表面,用于根据环境温度的变化,产生作用于所述栅电极的电压脉冲信号。由于本发明的温度传感层能基于热释电效应,直接根据环境温度的变化产生电压脉冲信号,因此省去了现有技术的温度传感器和脉冲编码模块,从而实现了温度智能感知系统的体积小且结构简单。

    一种双参数传感器阵列及其制备方法

    公开(公告)号:CN119245850A

    公开(公告)日:2025-01-03

    申请号:CN202411265495.0

    申请日:2024-09-10

    Applicant: 上海大学

    Abstract: 本发明提供了一种双参数传感器阵列及其制备方法,其中双参数传感器阵列包括衬底、分压电阻阵列、肖特基二极管阵列和压敏薄膜,分压电阻阵列包括若干呈阵列排布的分压电阻;肖特基二极管阵列包括若干分别位于分压电阻上的肖特基二极管,肖特基二极管包括阴电极、阳电极以及位于阴电极与阳电极之间的半导体结构,阴电极与对应的分压电阻的第一端电连接,阳电极的第一端通过半导体结构与阴电极电连接,阳电极的第二端与对应的分压电阻的第二端电连接;在压力测试时,压敏薄膜覆盖在肖特基二极管阵列上。本发明解决了在双参数传感器阵列中存在压敏传感器的灵敏度与空间分辨率无法兼顾,且温度传感器对压力信号容易耦合的问题。

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