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公开(公告)号:CN114857003A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202110074094.7
申请日:2021-01-20
申请人: 上海伊莱茨真空技术有限公司 , 潇然 , 伊莱茨股份有限公司
摘要: 一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置,包括一泵体,其内部形成中空的泵腔,该泵腔中设有至少两个叶轮;该泵体包括一进气口及一排气口;该泵体上设有至少一冷却气体通道,这些冷却气体通道具有一内侧端开口连通该泵体内部的该泵腔,及一外侧端入口连通该泵体的外部空间;该冷却气体通道用于将外部的冷却气体输入到该泵腔,并吸收该泵腔内部的热量后从该排气口排出;一水冷机构位于该泵体的排气口的周围,该水冷机构内部形成水槽环绕该排气口外侧,该水冷机构还包括一冷却水进口及一冷却水出口;该冷却水进口用于将外部的冷却水输入到该水槽,而吸收该排气口的热量后从该冷却水出口向外输出。
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公开(公告)号:CN113153744A
公开(公告)日:2021-07-23
申请号:CN202010075272.3
申请日:2020-01-22
申请人: 上海伊莱茨真空技术有限公司 , 潇然 , ELIVAC Inc.(伊莱茨股份有限公司)
摘要: 本发明提供一种轴向串列式罗茨真空泵模组,包括一驱动电机,包括一左侧电机主轴;以及至少一罗茨真空泵组,各罗茨真空泵组包括至少一罗茨真空泵,且所有罗茨真空泵组的罗茨真空泵的总数量大于等于两个;其中各罗茨真空泵包括一传动轴,所有的罗茨真空泵的驱动轴与该驱动电机形成串接的型态,使得该驱动电机可同步带动所有的罗茨真空泵的传动轴一起转动。本发明中可将所有罗茨真空泵的吸气口并接到一吸气管道,且所有罗茨真空泵的排气口并接到一排气管道,使所有罗茨真空泵可同步进行吸气、抽真空及排气的作业。或者也可将所有罗茨真空泵的吸气口及排气口形成串接,以使流体可依序通过各个罗茨真空泵而进行多级的抽真空作业。
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公开(公告)号:CN214660827U
公开(公告)日:2021-11-09
申请号:CN202120161041.4
申请日:2021-01-20
申请人: 上海伊莱茨真空技术有限公司 , 潇然 , 伊莱茨股份有限公司
摘要: 一种具有气水混合冷却机构的高效气冷泵装置,包括一泵体,其内部形成中空的泵腔,该泵腔中设有至少两个叶轮;该泵体包括一进气口及一排气口;该泵体上设有至少一冷却气体通道,这些冷却气体通道具有一内侧端开口连通该泵体内部的该泵腔,及一外侧端入口连通该泵体的外部空间;该冷却气体通道用于将外部的冷却气体输入到该泵腔,并吸收该泵腔内部的热量后从该排气口排出;一水冷机构位于该泵体的排气口的周围,该水冷机构内部形成水槽环绕该排气口外侧,该水冷机构还包括一冷却水进口及一冷却水出口;该冷却水进口用于将外部的冷却水输入到该水槽,而吸收该排气口的热量后从该冷却水出口向外输出。
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公开(公告)号:CN211819910U
公开(公告)日:2020-10-30
申请号:CN202020145202.6
申请日:2020-01-22
申请人: 上海伊莱茨真空技术有限公司 , 潇然 , ELIVAC , Inc.(伊莱茨股份有限公司)
摘要: 本实用新型提供一种轴向串列式罗茨真空泵模组,包括一驱动电机,包括一左侧电机主轴;以及至少一罗茨真空泵组,各罗茨真空泵组包括至少一罗茨真空泵,且所有罗茨真空泵组的罗茨真空泵的总数量大于等于两个;其中各罗茨真空泵包括一传动轴,所有的罗茨真空泵的驱动轴与该驱动电机形成串接的型态,使得该驱动电机可同步带动所有的罗茨真空泵的传动轴一起转动。本实用新型中可将所有罗茨真空泵的吸气口并接到一吸气管道,且所有罗茨真空泵的排气口并接到一排气管道,使所有罗茨真空泵可同步进行吸气、抽真空及排气的作业。或者也可将所有罗茨真空泵的吸气口及排气口形成串接,以使流体可依序通过各个罗茨真空泵而进行多级的抽真空作业。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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