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发明公开
无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达审中-实审

公开(公告)号：CN118759712A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202411136951.1

申请日：2024-08-19

Applicant: 上海交通大学内蒙古研究院

Inventor： 方肖勇 , 李艳辉 , 屠尔琪 , 李昂 , 周峻峰 , 张文明

IPC: G02B26/08 , G01S7/481 , G02B26/10

Abstract: 本发明提供了一种无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜、封装结构及雷达。所述无串扰、双轴独立驱动的电磁MEMS振镜，包括支撑衬底、固定框架、第一电极、第二电极、第一慢轴支撑梁、第二慢轴支撑梁、平衡框、电磁驱动线圈、第一快轴支撑梁、第二快轴支撑梁、反射镜面以及驱动永磁体；反射镜面的两端分别通过第一快轴支撑梁和第二快轴支撑梁与平衡框可转动连接，平衡框的两端分别通过第一慢轴支撑梁和第二慢轴支撑梁与固定框架可转动连接；电磁驱动线圈的两端分别与第一电极和第二电极连接；驱动永磁体安装在支撑衬底上。本发明消除两轴之间的机械串扰，并且避免了在反射镜面周围制造电磁驱动线圈，消除了镜面热变形的影响。

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