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公开(公告)号：CN115597695A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202110775224.X
申请日：2021-07-09
Applicant: 上海交通大学(CN)
IPC: G01H9/00
Abstract: 一种基于超快脉冲激光干涉的混频测振装置及方法，包括：依次相连的光学干涉结构、驱动与扫描单元、光电探测单元、比例积分控制器和信号处理单元，其中：光学干涉结构用于将超快脉冲激光分成待测光和参考光并将二者产生干涉，其中待测光受到了超高频谐振器振动表面的反射调制，驱动与扫描单元激发待测样品起振并使用激光光斑对整个待测样品表面进行扫描，光电探测单元测量相干光信号并还原待测样品振动位移信息，比例积分控制器控制可移动参考镜的运动以达到稳定的干涉状态，信号处理单元将光电探测单元得到的测量信息和驱动与扫描单元发出的激励、位置指令进行整合得到振动位移分布图，即振形成像。本发明通过检测低频的差拍信号fb，即可获得超高频激励频率下器件的真实振动幅值和相位，极大的提高了3GHz以上谐振器光学测量的信噪比，将激光测振的可用频率范围提高到了12GHz。
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