公开(公告)号：CN115597696A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202110775251.7

申请日：2021-07-09

Applicant: 上海交通大学(CN)

Inventor： 宋鹏慧 ,  邵磊 ,  张文明

IPC: G01H9/00 ,  G01J9/02

Abstract: 一种超快脉冲激光干涉系统的等效波长校准装置及方法，包括：依次设置的光源组件、干涉光路组件和信号采集与处理组件，其中：信号采集与处理组件接收来自干涉光路的两束干涉光信号，并将干涉光信号转换为电压信号进行处理，得到信号光与参考光之间的相位差并结合纳米定位器的位移信息计算出脉冲激光干涉的等效波长。本发明使脉冲激光等效波长的有效性与超快脉冲激光干涉测振系统的测量准确性提高至少一个数量级。

公开(公告)号：CN115597695A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202110775224.X

申请日：2021-07-09

Applicant: 上海交通大学(CN)

Inventor： 程晶婕 ,  宋鹏慧 ,  邵磊 ,  张文明

IPC: G01H9/00

Abstract: 一种基于超快脉冲激光干涉的混频测振装置及方法，包括：依次相连的光学干涉结构、驱动与扫描单元、光电探测单元、比例积分控制器和信号处理单元，其中：光学干涉结构用于将超快脉冲激光分成待测光和参考光并将二者产生干涉，其中待测光受到了超高频谐振器振动表面的反射调制，驱动与扫描单元激发待测样品起振并使用激光光斑对整个待测样品表面进行扫描，光电探测单元测量相干光信号并还原待测样品振动位移信息，比例积分控制器控制可移动参考镜的运动以达到稳定的干涉状态，信号处理单元将光电探测单元得到的测量信息和驱动与扫描单元发出的激励、位置指令进行整合得到振动位移分布图，即振形成像。本发明通过检测低频的差拍信号fb，即可获得超高频激励频率下器件的真实振动幅值和相位，极大的提高了3GHz以上谐振器光学测量的信噪比，将激光测振的可用频率范围提高到了12GHz。