公开(公告)号：CN118347585A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410451667.7

申请日：2024-04-15

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 黄鹏程 ,  吴佩瑾 ,  郭子源 ,  叶志成

IPC: G01J1/42 ,  G01J1/02

Abstract: 本发明公开一种基于分段环形纳米线组的入射光三维角度传感器，涉及光角度测量传感技术领域，包括分段环形纳米线组、金属导电电极、基底层、覆盖层，所述分段环形纳米线组设置于所述基底层的上表面，并为所述覆盖层所覆盖，所述金属导电电极于所述基底层内与所述分段环形纳米线组连接。本发明能够实现同时对入射光三维角度的探测与传感，整体在微米尺度，具备超轻薄特性，易于集成，具有较高的探测精度。

公开(公告)号：CN118328906A

公开(公告)日：2024-07-12

申请号：CN202410471664.X

申请日：2024-04-18

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 吴佩瑾 ,  叶志成 ,  黄鹏程 ,  郭子源

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明公开了一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列，涉及角度测量领域。本发明包括光源、光栅结构、光栅保护层、光阑、光波导和光探测器阵列；光栅结构位于光波导一端的一个表面上，光探测器阵列位于光波导另一端的上表面或是下表面；光阑位于光波导的上表面或是下表面且位于光栅结构与光探测器阵列之间；通过测量相邻衍射点的距离计算光源的入射角及衍射角。本发明可以高精度地实现入射光角度测量；利用集成在光波导上的亚波长一维光栅结构以及布置于波导四周的超轻薄光电探测器，在超轻薄器件的基础上实现角度感知。

公开(公告)号：CN118328906B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202410471664.X

申请日：2024-04-18

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 吴佩瑾 ,  叶志成 ,  黄鹏程 ,  郭子源

IPC: G01B11/26

Abstract: 本发明公开了一种基于波导中相邻衍射点距离探测入射角的探测器阵列，涉及角度测量领域。本发明包括光源、光栅结构、光栅保护层、光阑、光波导和光探测器阵列；光栅结构位于光波导一端的一个表面上，光探测器阵列位于光波导另一端的上表面或是下表面；光阑位于光波导的上表面或是下表面且位于光栅结构与光探测器阵列之间；通过测量相邻衍射点的距离计算光源的入射角及衍射角。本发明可以高精度地实现入射光角度测量；利用集成在光波导上的亚波长一维光栅结构以及布置于波导四周的超轻薄光电探测器，在超轻薄器件的基础上实现角度感知。