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公开(公告)号：CN118137998A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410295168.3
申请日：2024-03-14
Applicant: 上海交通大学
IPC: H03H3/007
Abstract: 本发明公开了一种基于有机辅助层热分解的层状材料悬空器件的制备方法，涉层状材料悬空器件技术领域。包括如下步骤：步骤1、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂至覆盖有层状材料的生长基底后，烘焙干燥，通过剥离或刻蚀的方法得到层状材料和聚甲基丙烯酸甲酯有机辅助层构成的复合薄膜；步骤2、将复合薄膜附着到预先加工的表面带有微沟槽和接触电极的转移基底后，加热展平材料；步骤3、将步骤(2)展平后的材料进行有机辅助层的热分解，即得层状薄膜材料的悬空器件阵列。本发明制备得到的材料表面平整无裂缝无褶皱，避免了溶液刻蚀有机层造成的悬空器件坍塌问题，且各操作步骤均无需显微操作，可通过自动化方式替代，从而实现大规模层状材料悬空器件加工。
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