公开(公告)号：CN1438655A

公开(公告)日：2003-08-27

申请号：CN03116028.X

申请日：2003-03-27

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 余昶 ,  王晖 ,  邹志强 ,  梁齐 ,  王庆康

IPC: G12B21/04 ,  G01N13/12

Abstract: 一种扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪属于测试技术领域。本发明由电路和电解池装置两个部分组成，电路包括电源输出部分电路、制动部分电路、逻辑判断及鸣警部分电路和电解池变化反馈部分电路，电解池装置由完全相同的左右两部分组成，其中两通管一边各焊接一悬臂，另一边通过螺母各固定于中心轴上，两中心轴设置在两底座上，两悬臂的末端通过螺母分别固定有阴极线圈或阳极钨丝，电解池设置在两底座中间，用与电路正负极相连的鳄鱼夹分别夹住阳极钨丝和阴极线圈上部，作为电解池的阴阳两电极。本发明的电路自动切断的响应时间约为100ns，能提高了针尖的锐度，装置结构小巧，拆装更为简便，移动方便提高工作了效率，自动报警无需监视，节省了人力。

公开(公告)号：CN100390526C

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN03116028.X

申请日：2003-03-27

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 余昶 ,  王晖 ,  邹志强 ,  梁齐 ,  王庆康

IPC: G01N13/12 ,  G12B21/04

Abstract: 一种扫描隧道显微镜针尖自动控制刻蚀仪属于测试技术领域。本发明由电路和电解池装置两个部分组成，电路包括电源输出部分电路、制动部分电路、逻辑判断及鸣警部分电路和电解池变化反馈部分电路，电解池装置由完全相同的左右两部分组成，其中两通管一边各焊接一悬臂，另一边通过螺母各固定于中心轴上，两中心轴设置在两底座上，两悬臂的末端通过螺母分别固定有阴极线圈或阳极钨丝，电解池设置在两底座中间，用与电路正负极相连的鳄鱼夹分别夹住阳极钨丝和阴极线圈上部，作为电解池的阴阳两电极。本发明的电路自动切断的响应时间约为100ns，能提高了针尖的锐度，装置结构小巧，拆装更为简便，移动方便提高工作了效率，自动报警无需监视，节省了人力。