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公开(公告)号:CN115494587A
公开(公告)日:2022-12-20
申请号:CN202110721396.9
申请日:2021-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于MDM的三次多项式曲线的弯曲多模波导的实现方法,设置该波导整体形状满足三次多项式曲线的弯曲形状,弯曲部分最大曲率半径Rmax不小于10μm且最小曲率半径Rmin不大于10μm,以避免在弯曲波导和直波导连接处出现明显的模场失配并使弯曲波导满足绝热缓变条件,然后通过电子束光刻系统(EBL)和深硅刻蚀的方式制备得到。本发明弯曲波导占地面积很小并且能够实现插入损耗<0.11dB和模间串扰值<‑25dB。
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公开(公告)号:CN115494584A
公开(公告)日:2022-12-20
申请号:CN202210961011.0
申请日:2022-08-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于梯形亚波长光栅的超宽带3dB功率分配器,为中心对称结构,包括:耦合区、依次分布在耦合区的两侧的过渡区及S型波导,其中:耦合区由上下两个侧面相耦合的亚波长光栅波导组成,每个亚波长光栅波导进一步由若干依次排列的梯形单元组成。本发明将梯形亚波长光栅结构运用于实现耦合模式的调控,不仅有效进一步减小了器件耦合区尺寸,还实现了较高的工作带宽、较低损耗以及功率分配较均匀等特点。
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公开(公告)号:CN115373159A
公开(公告)日:2022-11-22
申请号:CN202110532847.4
申请日:2021-05-17
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02F1/01
Abstract: 一种硅‑铌酸锂混合集成偏振分束旋转器,包括:两个级联的定向耦合器,两定向耦合器通过一个S弯波导级联,从而实现对TE和TM两种偏振模式的传输和转换,其中:第一定向耦合器包括:两个90°的弯曲波导,通过优化弯曲波导的宽度和部分刻蚀的宽度改变两个弯曲波导的等效折射率,当满足相位匹配条件时得到最优解;第二定向耦合器包括:两个宽度相等的直波导,其级联在由弯曲波导构成的定向耦合器之后。本发明实现了铌酸锂薄膜与硅基光子器件的键合,偏振分束旋转器是实现高性能硅‑铌酸锂异质集成光电调制器的关键器件,解决了调制芯片中偏振耦合串扰的问题,能够实现低损耗、大容量、大带宽的信息互联。
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