公开(公告)号：CN102368837B

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201110273368.1

申请日：2011-09-15

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 李以贵 ,  廖哲勋 ,  罗晨晨 ,  罗江波 ,  陈丹丹 ,  胡锦洋

IPC: H04R19/04

Abstract: 一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电极膜之间的磷硅玻璃牺牲层刻蚀至穿通，形成一个内部中空侧壁有声孔的结构，支撑其上的振动薄膜，从而利用其电容变化将声音能量转化为电能。本发明在麦克风结构侧壁上刻蚀出声孔，不需要复杂的体微加工技术和精确的沉积工艺，能够比较容易地控制振动膜与电极之间的间隙距离，而且反应离子刻蚀和HF湿法刻蚀操作相对简单，整套工艺流程简单易行。

公开(公告)号：CN102410996A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201110248090.2

申请日：2011-08-26

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 李以贵 ,  罗晨晨 ,  廖哲勋 ,  罗江波

IPC: G01N21/64

Abstract: 本发明公开一种基于全反射的平面并行荧光生物检测芯片及其制备方法，该芯片中：样品台由玻璃片和PDMS芯片键合而成，位于整个芯片的最上面，样品台的下面是位于同一水平面的棱镜，透镜，光纤阻止，光纤支撑以及光纤，所述棱镜，透镜，光纤阻止以及光纤支撑都由PDM一体制得；当激光经耦合进入单模光纤时，光束在光纤中传播，出射后由透镜进行校正，到达空气/棱镜界面时发生折射，折射光随后到达棱镜/玻璃界面进一步折射，折射光进入玻璃后在玻璃/水界面发生全反射，在全反射区域产生倏逝波激发水中的样品发生荧光反应。该芯片利于和微分析系统集成，不需要体激光源，生物材料消耗低，荧光背景噪音小，灵敏度高。

公开(公告)号：CN102368837A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：CN201110273368.1

申请日：2011-09-15

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 李以贵 ,  廖哲勋 ,  罗晨晨 ,  罗江波 ,  陈丹丹 ,  胡锦洋

IPC: H04R19/04

Abstract: 一种基于表面微细加工工艺的电容式微麦克风及其制备方法，采用基于反应离子刻蚀和以HF为刻蚀液的湿法刻蚀工艺，反应离子干法刻蚀用于形成高深宽比结构，形成具有垂直侧壁的方腔结构，然后利用刻蚀液HF的湿法刻蚀，将振动膜与固定的电极膜之间的磷硅玻璃牺牲层刻蚀至穿通，形成一个内部中空侧壁有声孔的结构，支撑其上的振动薄膜，从而利用其电容变化将声音能量转化为电能。本发明在麦克风结构侧壁上刻蚀出声孔，不需要复杂的体微加工技术和精确的沉积工艺，能够比较容易地控制振动膜与电极之间的间隙距离，而且反应离子刻蚀和HF湿法刻蚀操作相对简单，整套工艺流程简单易行。