微摩擦测试装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1297813C

    公开(公告)日:2007-01-31

    申请号:CN200510023642.4

    申请日:2005-01-27

    Abstract: 一种微摩擦测试装置,二维位移平台上固定的二维测力传感器采用悬臂结构,相互垂直的卧式弯曲梁和立式弯曲梁通过连接块固定在一起,卧式弯曲梁和立式弯曲梁均由两平行弹性体组成,悬臂一端固定,另一端悬臂前端上固定有被测圆柱与摩擦头,被测圆柱正上方的非接触位移传感器的探头由刚性悬梁固定在二维移动平台上。立式弯曲梁上粘贴有应变片用于对摩擦力的测量,载荷的测量则通过位移传感器间接实现。本发明能同时测量微毫牛级载荷和摩擦力,无需采用高精度微位移平台就能实现载荷的高分辨率加载,同时保证了测力精度。

    单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法

    公开(公告)号:CN100383280C

    公开(公告)日:2008-04-23

    申请号:CN200510023461.1

    申请日:2005-01-20

    Abstract: 一种单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法,将单晶硅片作为基底材料,在其表面采用自组装方法制备磺酸基硅烷-稀土纳米薄膜,首先将单晶硅片浸泡在王水中加热5~6小时,在室温中冷却、冲洗干燥后浸入配制好的巯基硅烷溶液中,静置6~8小时取出,冲洗后用氮气吹干置于硝酸中反应,把端巯基原位氧化成磺酸基,再将表面附有磺酸基硅烷薄膜的基片置入由稀土化合物、乙醇、乙二胺四乙酸、氯化铵、尿素及硝酸组成的稀土自组装溶液中进行组装,即获得磺酸基硅烷-稀土自组装纳米薄膜。本发明工艺方法简单,在单晶硅片表面制备的稀土自组装薄膜有明显减摩、耐磨作用。

    单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法

    公开(公告)号:CN1670247A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510023460.7

    申请日:2005-01-20

    Abstract: 一种单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法,将表面经过处理的单晶基片作为基底材料,在其表面采用自组装方法制备巯基硅烷-稀土纳米薄膜,首先将单晶硅片放入王水中,对单晶硅片进行预处理,清洗、干燥后,浸入巯基硅烷溶液中,静置8小时后取出,冲洗后用氮气吹干置于由稀土化合物、乙醇、乙二胺四乙酸、氯化铵、尿素及硝酸组成的稀土自组装溶液中进行组装,即获得巯基硅烷-稀土自组装纳米薄膜。本发明工艺方法简单,在单晶硅片表面制备的稀土自组装薄膜有明显减摩、耐磨作用。

    二维微力测量传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1645077A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN200510023641.X

    申请日:2005-01-27

    Abstract: 本发明涉及一种二维微力测量传感器,应用于微摩擦测试。采用弹性体悬臂结构,由相互垂直的立式弯曲梁和卧式弯曲梁组成,悬臂一端固定,一端安装有摩擦头。立式弯曲梁和卧式弯曲梁均由两平行弹性体组成,弹性体上贴有应变片组成全桥电路。在摩擦测试中,测力传感器受载荷和摩擦力同时作用发生应变变形,其中卧式弯曲梁仅受法向载荷发生应变变形,立式弯曲梁则仅受摩擦力作用发生应变变形,通过应变检测可间接测出法向载荷和摩擦力的大小。本发明具有二维测量能力,能同时测量接触摩擦中的微毫牛级的法向载荷和摩擦力,且只需改变摩擦头类型就可进行点、线、面接触方式的摩擦测试。

    二维微力测量传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1316235C

    公开(公告)日:2007-05-16

    申请号:CN200510023641.X

    申请日:2005-01-27

    Abstract: 本发明涉及一种二维微力测量传感器,应用于微摩擦测试。采用弹性体悬臂结构,由相互垂直的立式弯曲梁和卧式弯曲梁组成,悬臂一端固定,一端安装有摩擦头。立式弯曲梁和卧式弯曲梁均由两平行弹性体组成,弹性体上贴有应变片组成全桥电路。在摩擦测试中,测力传感器受载荷和摩擦力同时作用发生应变变形,其中卧式弯曲梁仅受法向载荷发生应变变形,立式弯曲梁则仅受摩擦力作用发生应变变形,通过应变检测可间接测出法向载荷和摩擦力的大小。本发明具有二维测量能力,能同时测量接触摩擦中的微毫牛级的法向载荷和摩擦力,且只需改变摩擦头类型就可进行点、线、面接触方式的摩擦测试。

    单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法

    公开(公告)号:CN1670248A

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200510023461.1

    申请日:2005-01-20

    Abstract: 一种单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜的方法,将单晶硅片作为基底材料,在其表面采用自组装方法制备磺酸基硅烷-稀土纳米薄膜,首先将单晶硅片浸泡在王水中加热5~6小时,在室温中冷却、冲洗干燥后浸入配制好的巯基硅烷溶液中,静置6~8小时取出,冲洗后用氮气吹干置于硝酸中反应,把端巯基原位氧化成磺酸基,再将表面附有磺酸基硅烷薄膜的基片置入由稀土化合物、乙醇、乙二胺四乙酸、氯化铵、尿素及硝酸组成的稀土自组装溶液中进行组装,即获得磺酸基硅烷-稀土自组装纳米薄膜。本发明工艺方法简单,在单晶硅片表面制备的稀土自组装薄膜有明显减摩、耐磨作用。

    微摩擦测试装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1645103A

    公开(公告)日:2005-07-27

    申请号:CN200510023642.4

    申请日:2005-01-27

    Abstract: 一种微摩擦测试装置,二维位移平台上固定的二维测力传感器采用悬臂结构,相互垂直的卧式弯曲梁和立式弯曲梁通过连接块固定在一起,卧式弯曲梁和立式弯曲梁均由两平行弹性体组成,悬臂一端固定,另一端悬臂前端上固定有被测圆柱与摩擦头,被测圆柱正上方的非接触位移传感器的探头由刚性悬梁固定在二维移动平台上。立式弯曲梁上粘贴有应变片用于对摩擦力的测量,载荷的测量则通过位移传感器间接实现。本发明能同时测量微毫牛级载荷和摩擦力,无需采用高精度微位移平台就能实现载荷的高分辨率加载,同时保证了测力精度。

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