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公开(公告)号：CN1139824C
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN02111917.1
申请日：2002-06-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 光纤端面微细加工方法属于微细加工技术领域。本发明具体方法如下：(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层；(2)将光纤端面前烘；(3)将光纤端面导入带自对准的掩膜板微孔，对光刻胶进行曝光，显影，并进行后烘；(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀，得到所需的光纤端面形状和结构。本发明采用带自对准的掩膜板解决了光纤端面加工技术难，对准程度低的问题，实现对光纤端面进行任意形状和结构的加工。
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公开(公告)号：CN1381739A
公开(公告)日：2002-11-27
申请号：CN02111917.1
申请日：2002-06-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 光纤端面微细加工方法属于微细加工技术领域。本发明具体方法如下:(1)在光纤端面喷涂光刻胶形成均匀光刻胶层;(2)将光纤端面前烘;(3)导入带自对准的掩膜板微孔,对光刻胶进行曝光,显影,并进行后烘;(4)以光刻胶为掩膜对光纤端面进行刻蚀,得到所需的光纤端面形状和结构。本发明采用带自对准的掩膜板解决了光纤端面加工技术难,对准程度低的问题,实现对光纤端面进行任意形状和结构的加工。
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公开(公告)号：CN1381738A
公开(公告)日：2002-11-27
申请号：CN02111916.3
申请日：2002-06-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 带自对准的掩膜板属于微细加工技术领域。本发明主要包括:玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层和微孔,玻璃基板在最上层,中间为Au/Cr层,下层为镀镍层,玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层之间通过胶联或键合连接,微孔在镀镍层上。本发明具有实质性特点和显著进步,本发明可对光纤端面直接进行加工,解决了光纤端面加工技术难,对准程度低的问题,并可对光纤端面进行任意形状和结构的加工,对研制光纤通信用的器件和含有复杂图形的器件具有特别重要的意义。
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公开(公告)号：CN1180280C
公开(公告)日：2004-12-15
申请号：CN02111916.3
申请日：2002-06-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 用于光纤端面加工的带自对准的掩膜板属于微细加工技术领域。本发明包括：玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层和微孔，玻璃基板在最上层，中间为Au/Cr层，下层为镀镍层，玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层之间通过胶联或键合连接，微孔在镀镍层上，微孔本身尺寸和光纤外径尺寸相同，对应于微孔处的中间Au/Cr层上有掩膜图形。本发明具有实质性特点和显著进步，本发明可对光纤端面直接进行加工，解决了光纤端面加工技术难，对准程度低的问题，并可对光纤端面进行任意形状和结构的加工，对研制光纤通信用的器件和含有复杂图形的器件具有特别重要的意义。
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