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公开(公告)号：CN110911269A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911213600.5
申请日：2019-12-02
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种表面具有硅氧化物薄膜的硅片的制备方法，包括如下步骤：提供一硅基片，硅基片表面布设有垂直盲孔或通孔；通过电解法在硅基片表面及盲孔或通孔的孔壁上制备多孔层；最后通过电解法在多孔层上形成硅氧化物薄膜。本发明通过先在硅基片的表面及盲孔或通孔的孔壁上腐蚀出多孔层作为硅氧化物的前驱体反应物，大大降低了后续氧化反应的反应温度，对比起传统的气相沉积技术最低150℃的反应温度，本发明可将反应温度降低至室温，有效拓展了应用前景，并在大深宽比的微通道中制备出了厚度可控的硅氧化物绝缘层。
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公开(公告)号：CN104906816B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201510293323.9
申请日：2015-06-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的可控液体蒸发方法，该方法包含以下步骤：(1)使用多孔固体材料作为基体，将具有电磁波吸收特性的金属或合金或非金属无机物的颗粒复合在基体上，得到多孔光热转化复合材料；(2)将上述材料置于空气与液体界面，入射电磁波被上述颗粒吸收，并被转化为热量加热表层液体，使液体高效蒸发；(3)使用表面物理化学处理技术，实现对上述复合材料表面几何结构与化学性质的调节，从而对液体蒸发过程中蒸发速率进行控制。与现有技术相比，本发明利用光热转化颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液体，同时通过与表面结构性质可控的多孔支撑材料相复合，提高蒸发效率的同时更能控制液体组分的蒸发速率。
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公开(公告)号：CN104941227A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510306877.8
申请日：2015-06-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的液态混合物蒸发分离方法，该方法包括以下步骤：(1)使用多孔固体材料作为基体，将具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒复合在基体上，得到多孔光热转化复合材料；(2)将多孔光热转化复合材料置于空气与液态混合物界面，使液态混合物迅速汽化，实现高效率蒸发；(3)对多孔光热转化复合材料表面几何结构与化学性质的调节，从而对液态混合物蒸发过程中各组分蒸发量进行控制，实现液态混合物的蒸发分离。与现有技术相比，本发明利用电磁波吸收颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液态混合物，通过与表面结构性质可控的多孔支撑材料相复合控制不同组分蒸发的速率，进而实现液态混合物的蒸发式分离。
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公开(公告)号：CN110911351A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911166686.0
申请日：2019-11-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/768 , H01L21/02
Abstract: 本发明公开了一种硅片表面制备硅氧化物的方法；该方法包括：A1：硅片表面多孔硅前驱体制备：将所述硅片基片放置于含有乙醇和含氟试剂的腐蚀溶液中，采用恒流模式进行反应，反应后，硅片表面形成多孔硅薄膜；A2：二氧化硅薄膜制备：对所述步骤A1所得样品置于酸性溶液中，采用恒压模式进行反应，反应时间10分钟，得到硅氧化物薄膜。本发明在室温下在硅片表面原位制备硅氧化物薄膜，改善了传统制备方法需要在加热的限制，改善了薄膜的制备条件，特别适用于垂直硅通孔中的二氧化硅绝缘膜的制备。
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公开(公告)号：CN104941226B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510293322.4
申请日：2015-06-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于散射点掺杂的高效液体蒸发方法，包括以下步骤：将具有散射效应的物质制备成微纳米结构的散射颗粒，并与具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒进行混合；(2)将散射颗粒与电磁波吸收颗粒掺入溶液体系中并且混合均匀，得到电磁波吸收溶液，当电磁波照射到该溶液时，散射颗粒通过对电磁波的多重散射，将电磁波集中在液体表面，通过电磁波吸收颗粒将电磁波转化为热量，所产生的热量主要集中在局部表面，减少液体加热体积，使更多的热量使用在蒸发上，提高蒸汽制备效率。与现有技术相比，本发明通过对溶液进行散射点的掺杂，使能量聚集到一定的区域，同时利用纳米颗粒的吸收效应产生局部加热，高效率产生蒸汽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104906816A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510293323.9
申请日：2015-06-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的可控液体蒸发方法，该方法包含以下步骤：(1)使用多孔固体材料作为基体，将具有电磁波吸收特性的金属或合金或非金属无机物的颗粒复合在基体上，得到多孔光热转化复合材料；(2)将上述材料置于空气与液体界面，入射电磁波被上述颗粒吸收，并被转化为热量加热表层液体，使液体高效蒸发；(3)使用表面物理化学处理技术，实现对上述复合材料表面几何结构与化学性质的调节，从而对液体蒸发过程中蒸发速率进行控制。与现有技术相比，本发明利用光热转化颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液体，同时通过与表面结构性质可控的多孔支撑材料相复合，提高蒸发效率的同时更能控制液体组分的蒸发速率。
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公开(公告)号：CN104941227B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201510306877.8
申请日：2015-06-05
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的液态混合物蒸发分离方法，该方法包括以下步骤：(1)使用多孔固体材料作为基体，将具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒复合在基体上，得到多孔光热转化复合材料；(2)将多孔光热转化复合材料置于空气与液态混合物界面，使液态混合物迅速汽化，实现高效率蒸发；(3)对多孔光热转化复合材料表面几何结构与化学性质的调节，从而对液态混合物蒸发过程中各组分蒸发量进行控制，实现液态混合物的蒸发分离。与现有技术相比，本发明利用电磁波吸收颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液态混合物，通过与表面结构性质可控的多孔支撑材料相复合控制不同组分蒸发的速率，进而实现液态混合物的蒸发式分离。
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公开(公告)号：CN105031950B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201510306886.7
申请日：2015-06-05
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的可控蒸发表面温度的方法，包括以下步骤：(1)以多孔固体材料为基体，将具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒复合在基体表面上，制得多孔光热转化复合材料；(2)将多孔光热转化复合材料置于空气与液体界面，入射电磁波被电磁波吸收颗粒吸收，并被转化为热量加热表层液体，使液体表面温度上升并实现蒸发；(3)采用物理或化学手段处理多孔光热转化复合材料表面，调节上述材料表面的几何结构与化学性质，从而对液体蒸发过程中的表面温度进行控制。与现有技术相比，本发明利用电磁波吸收颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液体，并通过改变基体的表面物理化学性质控制蒸发时的表面温度。
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公开(公告)号：CN105031950A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510306886.7
申请日：2015-06-05
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多孔复合材料的可控蒸发表面温度的方法，包括以下步骤：(1)以多孔固体材料为基体，将具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒复合在基体表面上，制得多孔光热转化复合材料；(2)将多孔光热转化复合材料置于空气与液体界面，入射电磁波被电磁波吸收颗粒吸收，并被转化为热量加热表层液体，使液体表面温度上升并实现蒸发；(3)采用物理或化学手段处理多孔光热转化复合材料表面，调节上述材料表面的几何结构与化学性质，从而对液体蒸发过程中的表面温度进行控制。与现有技术相比，本发明利用电磁波吸收颗粒将光能高效转化为热量，加热并汽化表层液体，并通过改变基体的表面物理化学性质控制蒸发时的表面温度。
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公开(公告)号：CN104941226A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510293322.4
申请日：2015-06-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: B01D1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于散射点掺杂的高效液体蒸发方法，包括以下步骤：将具有散射效应的物质制备成微纳米结构的散射颗粒，并与具有电磁波吸收特性的电磁波吸收颗粒进行混合；(2)将散射颗粒与电磁波吸收颗粒掺入溶液体系中并且混合均匀，得到电磁波吸收溶液，当电磁波照射到该溶液时，散射颗粒通过对电磁波的多重散射，将电磁波集中在液体表面，通过电磁波吸收颗粒将电磁波转化为热量，所产生的热量主要集中在局部表面，减少液体加热体积，使更多的热量使用在蒸发上，提高蒸汽制备效率。与现有技术相比，本发明通过对溶液进行散射点的掺杂，使能量聚集到一定的区域，同时利用纳米颗粒的吸收效应产生局部加热，高效率产生蒸汽。
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