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公开(公告)号：CN110849508B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN201911197326.7
申请日：2019-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法，包括：柔性基底；下层电极，所述下层电极设置在所述柔性基底之上；触点阵列，所述触点阵列形成在下层电极之上并与所述下层电极电接触；支撑侧壁及延伸电极层，所述支撑侧壁设置在所述下电极的周围，并且与下电极电隔离；以及悬空网状电极，所述悬空网状电极形成在支撑侧壁上，并通过延伸电极引出，其中在未受外部作用力的情况下，所述悬空网状电极与所述触点阵列间隔开特定距离。本发明导电填料纳米石墨颗粒能均匀分散在PI中，且形成的复合材料具有良好的导电性能和机械性能。本发明具有制备工艺简单、反应灵敏，量程大和成本低的特点。
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公开(公告)号：CN106568539A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610916100.8
申请日：2016-10-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明提供了一种基于聚合物衬底的单片集成温湿压柔性传感器及制备方法，包括：柔性基底，所述柔性基底上设有压力传感器、温度传感器以及湿度传感器，其中：所述压力传感器是导电填料填充PDMS复合材料作为压敏介质的压力传感器，所述温度传感器是由对温度敏感的金属电阻形成的温度传感器，所述湿度传感器为聚酰亚胺湿度传感器。本发明导电填料填充PDMS复合材料具有良好的导电性能和机械性能，并具有压阻特性；金属电阻温度传感器测量精度高、重复性好、可靠性高；聚酰亚胺湿度传感器其耐热、力学、介电性能好，因而本发明能够实现低成本、制备工艺简单、重量轻、可阵列化和可以使用在弯曲表面等要求，实现产业化应用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106568518A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610941049.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于湿敏软管的柔性集成温湿压传感器及其制备方法，传感器包括：湿敏聚合物软管衬底，以及设置于湿敏聚合物软管衬底上的电容式湿度传感器、温度传感器和压阻式压力传感器；电容式湿度传感器由网状电极构成并以湿敏聚合物软管衬底作为电容介质；温度传感器为由铂电极和铂铑电极组成的热电偶，且一部分铂铑电极覆盖一部分铂电极以构成热电偶的热结点；压阻式压力传感器由铂丝组成，铂丝环绕在湿敏聚合物软管衬底的外侧面上。本发明网状电极的电阻型湿度传感器结构简单、精度高，使湿敏聚合物介质与空气接触面积更大有利于吸湿；薄膜热电偶结构简单，测量精度高，可以有效的检测多个方向压力的变化。
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公开(公告)号：CN110907504A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911273794.8
申请日：2019-12-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度微型氢气传感器，包括：悬臂梁支撑结构；微悬臂梁氢敏材料支撑层，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第一端固定设置在所述悬臂梁支撑结构的上方，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第二端为自由端；微悬臂梁氢敏材料层，所述微悬臂梁氢敏材料层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的上方；微悬臂梁引出电极，所述微悬臂梁引出电极设置在所述微悬臂梁氢敏材料层一端的上方；柔性压敏电阻层，所述柔性压敏电阻层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端的下方，且与所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端轻接触；以及柔性压敏电阻电极，所述柔性压敏电阻电极设置在所述柔性压敏电阻层下方。
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公开(公告)号：CN110849508A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911197326.7
申请日：2019-11-29
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种基于离散型接触结构的柔性压力传感器及其制备方法，包括：柔性基底；下层电极，所述下层电极设置在所述柔性基底之上；触点阵列，所述触点阵列形成在下层电极之上并与所述下层电极电接触；支撑侧壁及延伸电极层，所述支撑侧壁设置在所述下电极的周围，并且与下电极电隔离；以及悬空网状电极，所述悬空网状电极形成在支撑侧壁上，并通过延伸电极引出，其中在未受外部作用力的情况下，所述悬空网状电极与所述触点阵列间隔开特定距离。本发明导电填料纳米石墨颗粒能均匀分散在PI中，且形成的复合材料具有良好的导电性能和机械性能。本发明具有制备工艺简单、反应灵敏，量程大和成本低的特点。
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公开(公告)号：CN110907504B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201911273794.8
申请日：2019-12-12
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度微型氢气传感器，包括：悬臂梁支撑结构；微悬臂梁氢敏材料支撑层，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第一端固定设置在所述悬臂梁支撑结构的上方，所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的第二端为自由端；微悬臂梁氢敏材料层，所述微悬臂梁氢敏材料层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层的上方；微悬臂梁引出电极，所述微悬臂梁引出电极设置在所述微悬臂梁氢敏材料层一端的上方；柔性压敏电阻层，所述柔性压敏电阻层设置在所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端的下方，且与所述微悬臂梁氢敏材料支撑层第二端轻接触；以及柔性压敏电阻电极，所述柔性压敏电阻电极设置在所述柔性压敏电阻层下方。
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公开(公告)号：CN106568518B
公开(公告)日：2019-10-08
申请号：CN201610941049.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种基于湿敏软管的柔性集成温湿压传感器及其制备方法，传感器包括：湿敏聚合物软管衬底，以及设置于湿敏聚合物软管衬底上的电容式湿度传感器、温度传感器和压阻式压力传感器；电容式湿度传感器由网状电极构成并以湿敏聚合物软管衬底作为电容介质；温度传感器为由铂电极和铂铑电极组成的热电偶，且一部分铂铑电极覆盖一部分铂电极以构成热电偶的热结点；压阻式压力传感器由铂丝组成，铂丝环绕在湿敏聚合物软管衬底的外侧面上。本发明网状电极的电阻型湿度传感器结构简单、精度高，使湿敏聚合物介质与空气接触面积更大有利于吸湿；薄膜热电偶结构简单，测量精度高，可以有效的检测多个方向压力的变化。
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