公开(公告)号：CN103737488A

公开(公告)日：2014-04-23

申请号：CN201410003032.7

申请日：2014-01-03

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 姚振强 ,  忻晓蔚 ,  徐正松 ,  胡俊 ,  孙姚飞 ,  许胜 ,  侯耀宗

IPC: B24B41/06 ,  B24B7/24

CPC classification number: B24B41/068

Abstract: 本发明提供了一种真空吸附装置及其方法，包括：底座1、柔性吸附盘2、吸附盘定位装置3、工件定位装置5以及接头及管件6；柔性吸附盘2安装于吸附盘定位装置3上；吸附盘定位装置3安装于底座1上；吸附盘定位装置3设置有内孔；工件定位装置5安装于底座1四周，工件定位装置5用于通过移动来调整工件4相对于底座1的位置；吸附盘定位装置3下部通过接头及管件6与真空泵相连接，并用于通过柔性吸附盘2变形完成柔性吸附盘2对工件4的吸附，使工件4与底座1上端面紧密贴合。本发明可以显著提高光学玻璃、陶瓷材料、不锈钢以及其他非铁磁性材料工件定位精度。