公开(公告)号：CN102749480A

公开(公告)日：2012-10-24

申请号：CN201210238366.3

申请日：2012-07-10

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 邵志峰 ,  张金金 ,  丹尼尔·恰科夫 ,  孙洁林 ,  沈轶 ,  胡钧

IPC: G01Q60/24 ,  G01Q60/38

Abstract: 本发明提出一种施加直流偏压提高静电力驱动原子力显微镜(AFM)探针悬臂振动幅度的方法。AFM探针悬臂背面的金属镀层和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，由于作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中除共振峰以外其它杂峰的出现；而进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。

公开(公告)号：CN202676735U

公开(公告)日：2013-01-16

申请号：CN201220341620.8

申请日：2012-07-13

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 邵志峰 ,  张金金 ,  丹尼尔·恰科夫 ,  孙洁林 ,  沈轶 ,  胡钧

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本实用新型提出一种原子力显微镜探针悬臂振动装置，包括：有机玻璃模块，在其上面有2个长方形的槽，分别安置探针和铟化镓导电玻璃，探针悬臂镀有金属的背面和导电玻璃作为两个电极，在这两个电极间施加交流信号从而产生静电力来驱动悬臂振动，进一步叠加直流信号来提高悬臂振动幅度；不锈钢模块，用于稳定此装置，减小漂移。本实用新型在用静电力驱动原子力显微镜探针悬臂振动的基础上发展了一种通过叠加直流偏压增加振动幅值的装置，该装置结构简单，操作方便，作用力直接施加于悬臂，避免了悬臂振动频谱图中杂峰的出现，提高了振幅，从而振动信号的信噪比增加，有利于锁定真正的悬臂共振频率，进而提高了仪器的分辨率。