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公开(公告)号：CN111811939A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010714529.5
申请日：2020-07-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种超低温环境下的高精度纳米力学检测系统，包括低温系统单元，用于提供稳定的常压非真空低温清洁环境；壳体，置于罐体和低温液体的液面围成的上部空间中；探针，固定于壳体中，且探针上设有微悬臂；光学检测单元，包括激光光路单元和激光探测单元；处理单元，用于将电信号转变成微悬臂的偏折量；反馈与执行单元，包括压电陶瓷管，压电陶瓷管用于调节样品和探针之间的相对位移。本发明将系统保持在低温，利用冷阱作用，降低测量空间污染物，进而对材料或单分子进行稳定的超低温高精度力学测量，拓展了纳米力学测量的温度应用范围。
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