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公开(公告)号：CN104674185A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510056982.0
申请日：2015-02-03
Applicant: 上海交通大学 , 苏州交钻纳米超硬薄膜有限公司 , 上海交友钻石涂层有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有非晶二氧化硅中间过渡层的金刚石薄膜的制备方法，所述方法以硬质合金为衬底，以含硅有机大分子前驱体裂解为手段，首先在衬底表面得到非晶二氧化硅中间过渡层薄膜；然后采用化学气相沉积法为制备手段，在非晶二氧化硅中间过渡层表面原位沉积制备微米金刚石薄膜。本发明制备的非晶二氧化硅中间过渡层可以改善两步法预处理后硬质合金的粗化表面形貌，能够增强金刚石薄膜与硬质合金衬底间附着力，同时降低金刚石薄膜的表面粗糙度，改善金刚石薄膜的摩擦磨损性能，从而提高金刚石涂层刀具的使用寿命和切削性能。
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公开(公告)号：CN104674186B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201510056617.X
申请日：2015-02-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层的方法；首先，采用大分子有机硅烷作为前驱体，采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜，然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜，以制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层。与现有技术相比，本发明采用大分子前驱裂解的方法制备的非晶碳化硅过渡层可以有效阻隔两步法与处理之后硬质合金基体表面的残余钴相，同时改善硬质合金基体的粗化表面，制备获得的非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层既具有优异的附着性能，又具有极高的耐磨损性能，适合用于制备高质量金刚石涂层刀具。
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公开(公告)号：CN104674186A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510056617.X
申请日：2015-02-03
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C23C16/325 , C23C16/271
Abstract: 本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层的方法；首先，采用大分子有机硅烷作为前驱体，采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜，然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜，以制备非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层。与现有技术相比，本发明采用大分子前驱裂解的方法制备的非晶碳化硅过渡层可以有效阻隔两步法与处理之后硬质合金基体表面的残余钴相，同时改善硬质合金基体的粗化表面，制备获得的非晶碳化硅陶瓷-金刚石复合涂层既具有优异的附着性能，又具有极高的耐磨损性能，适合用于制备高质量金刚石涂层刀具。
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