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公开(公告)号:CN101590998A
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200910053745.3
申请日:2009-06-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81C1/00 , G01N27/447
Abstract: 一种微细加工技术领域的毛细管电泳芯片制备方法,包括如下步骤:制备第一粘附-种子层;甩第一光刻胶,烘胶,光刻支撑立柱的结构图形;在支撑立柱的结构图形的空腔内电镀支撑立柱;制备第二粘附-种子层;甩第二光刻胶,烘胶,光刻毛细管电泳芯片图形;在毛细管电泳芯片图形空腔内电镀;依次去除第二层光刻胶、第二粘附-种子层,得到悬空的金属管网状结构;以金属管网状结构为阴极,惰性金属为阳极,将二者浸入阴极电泳液中,通电,得到被薄膜包裹的金属管网状结构;在薄膜上开出两孔,然后将被薄膜包裹的金属管网状结构烧结,腐蚀,即得毛细管电泳芯片。本发明的方法制作的毛细管芯片精度高,易于大批量生产。
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公开(公告)号:CN118693530A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410858786.4
申请日:2024-06-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明涉及一种单侧非对称超表面结构及其制备方法,其中所述超表面结构包括:基底;以及位于所述基底上的一个或多个超表面结构单元,所述超表面结构单元为单侧经过不对称修饰的柱体,所述柱体包括圆柱或上表面为对称多边形的柱体。本发明公开的单侧非对称的超表面结构,在圆柱或上表面为对称多边形的柱体的侧壁形成一定程度的不对称,除了具有米氏共振特性以外,由于其不对称特性引发了较为强烈的法诺共振,在特定波长处形成电场增强。
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公开(公告)号:CN101702468A
公开(公告)日:2010-05-05
申请号:CN200910310458.6
申请日:2009-11-26
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01Q13/10
Abstract: 一种无线通信技术领域的宽带圆极化平面缝隙四元天线阵,包括:圆极化缝隙辐射阵列和微波介质层,其中:圆极化缝隙辐射阵列位于微波介质层上,所述圆极化缝隙辐射阵列包括:四个圆极化缝隙辐射单元和若干馈线,其中:每两个圆极化缝隙辐射单元由馈线并联形成辐射支路,两个辐射支路由馈线并联形成辐射干路,所述的四个圆极化缝隙辐射单元的圆心位于同一轴线上。本发明具有小型化、平面化、宽频带的特点,解决了平面缝隙天线不易实现的圆极化的技术问题,并且将天线单元结构排成1×4的线阵,提高了增益和频带。
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公开(公告)号:CN101102011A
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200710043747.5
申请日:2007-07-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种应用于通信技术领域的共面波导馈电宽带圆极化毫米波平面缝隙天线,包括共面波导馈线、圆环形辐射缝隙、微扰短路调节支、中心金属圆形贴片、外围接地板和微波介质基底,共面波导馈线、圆环形辐射缝隙、微扰短路调节支、中心金属圆形贴片和外围接地板处于同一平面,制作在微波介质基底上。共面波导馈线在圆环形辐射缝隙的下方,共面波导馈线在纵向与中心金属圆形贴片直接相连,微扰短路调节支处于圆环形辐射缝隙的水平方向右侧,将中心金属圆形贴片与外围接地板短路连接起来。本发明易于调节尺寸大小和阻抗匹配,且馈线部分与辐射单元共面,加工方便,并可以达到圆极化和宽频带要求。
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公开(公告)号:CN119297600A
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202411443270.X
申请日:2024-10-16
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种金属纳米环光学天线及其形成方法,所述方法包括:在基底上布置胶材,图形化胶材,然后依照图案、使用反应刻蚀基底形成侧壁倾斜的纳米柱;使用有机溶剂浸泡以将纳米柱上方的胶材去除;在纳米柱的表面和基底的表面沉积等离激元材料薄膜;以及去除纳米柱顶部及基底表面的等离激元材料,保留纳米柱侧壁的等离激元材料形成了纳米环。在纳米柱侧壁形成等离激元的闭合金属环,并通过调控纳米柱刻蚀过程,使其形成上窄下宽的形状。基于纳米柱的金属纳米环制备和图形化不使用如电子束光刻或其他光刻技术,而主要使用金属溅射及离子束刻蚀方法。纳米环的侧壁倾斜角度、环壁厚度、金属材料可由以上工艺调节。
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公开(公告)号:CN101102012A
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200710043748.X
申请日:2007-07-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种属于通信技术领域的多层三维悬空结构的单向宽带圆极化毫米波平面缝隙天线,包括金属圆形缝隙引导层、微波介质层、共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元、支撑层、金属圆形截止波导反射缝隙层,金属圆形缝隙引导层设置在微波介质层一面,共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元、金属圆形截止波导反射缝隙层、支撑层处于微波介质层的另一面,共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元与微波介质层相连,金属圆形截止波导反射缝隙层通过支撑层与共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元相连。本发明易于调节共面波导馈线尺寸和阻抗匹配,加工方便,达到圆极化和宽频带要求,实现单向辐射,并显著提高原有天线增益。
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公开(公告)号:CN116931139A
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202210378535.7
申请日:2022-04-08
Applicant: 上海交通大学
IPC: G02B5/00
Abstract: 本发明涉及一种侧壁集成纳米光学天线,包括基底;位于所述基底中的一个或多个微纳米孔;以及布置在所述微纳米孔的内壁的等离激元。本发明还涉及一种侧壁集成纳米光学天线的制备方法,包括:提供基底,并在基底上布置胶材;在胶材上形成微纳米孔图形;在基底上形成微纳米孔;在微纳米孔的内壁形成等离激元;以及去除胶材和胶材表面的沉积物薄膜。通过该纳米光学或方法,在微纳米孔的内壁形成等离激元,该侧壁集成纳米光学天线具有三维纳米光学天线的结构特征以及与二维纳米光学天线相比拟的尖端效应,能够造成强的光学谐振效应,品质因数值较高,使局部场增强效应更强。
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公开(公告)号:CN101590998B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200910053745.3
申请日:2009-06-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81C1/00 , G01N27/447
Abstract: 一种微细加工技术领域的毛细管电泳芯片制备方法,包括如下步骤:制备第一粘附-种子层;甩第一光刻胶,烘胶,光刻支撑立柱的结构图形;在支撑立柱的结构图形的空腔内电镀支撑立柱;制备第二粘附-种子层;甩第二光刻胶,烘胶,光刻毛细管电泳芯片图形;在毛细管电泳芯片图形空腔内电镀;依次去除第二层光刻胶、第二粘附-种子层,得到悬空的金属管网状结构;以金属管网状结构为阴极,惰性金属为阳极,将二者浸入阴极电泳液中,通电,得到被薄膜包裹的金属管网状结构;在薄膜上开出两孔,然后将被薄膜包裹的金属管网状结构烧结,腐蚀,即得毛细管电泳芯片。本发明的方法制作的毛细管芯片精度高,易于大批量生产。
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公开(公告)号:CN101102012B
公开(公告)日:2011-04-13
申请号:CN200710043748.X
申请日:2007-07-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种属于通信技术领域的多层三维悬空结构的单向宽带圆极化毫米波平面缝隙天线,包括金属圆形缝隙引导层、微波介质层、共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元、支撑层、金属圆形截止波导反射缝隙层,金属圆形缝隙引导层设置在微波介质层一面,共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元、金属圆形截止波导反射缝隙层、支撑层处于微波介质层的另一面,共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元与微波介质层相连,金属圆形截止波导反射缝隙层通过支撑层与共面波导馈电的圆极化缝隙辐射单元相连。本发明易于调节共面波导馈线尺寸和阻抗匹配,加工方便,达到圆极化和宽频带要求,实现单向辐射,并显著提高原有天线增益。
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