公开(公告)号：CN102332351A

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201110279041.5

申请日：2011-09-20

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 汪红 ,  何明轩 ,  李源 ,  凌行 ,  卢歆 ,  丁桂甫

IPC: H01G5/38 ,  H01G5/011

Abstract: 一种用于微纳米测量的微可变电容及其制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。微电容是通过微加工工艺来实现的，在不增加工艺复杂程度的同时，制作出高灵敏度的适合微纳米测量的微可变电容，并且能够和市场上很多微纳米测量探针集成，整合到微纳米测量设备中。该电容不但适合轴向测量，也适合横向测量，微可变电容与探针集成可以实现微纳米3D测量。

公开(公告)号：CN102332351B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201110279041.5

申请日：2011-09-20

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 汪红 ,  何明轩 ,  李源 ,  凌行 ,  卢歆 ,  丁桂甫

IPC: H01G5/38 ,  H01G5/011

Abstract: 一种用于微纳米测量的微可变电容的制备方法，所述电容由上下两个电极构成的，所述下电极被径向等分成四个形状和面积完全相同的独立电极单元，四个独立的电极单元呈扇形，这些独立的电极单元是相互绝缘的；所述的四个独立的电极单元都引出信号，上电极作为公用电极，每个独立的电极单元与公用上电极构成四个独立的电容，每个电容的等效面积为已经等分好的扇形面积。微电容是通过微加工工艺来实现的，在不增加工艺复杂程度的同时，制作出高灵敏度的适合微纳米测量的微可变电容，并且能够和市场上很多微纳米测量探针集成，整合到微纳米测量设备中。该电容不但适合轴向测量，也适合横向测量，微可变电容与探针集成可以实现微纳米3D测量。