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公开(公告)号：CN101899697A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN201010250675.3
申请日：2010-08-13
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种电镀技术领域的异型腔体内壁辅助阳极的电镀设备，异型腔体内壁辅助阳极的电镀设备，包括：电镀槽、主阳极、辅助阳极、超声设备和电源，其中：主阳极设于电镀槽的两边，电源分别与主阳极和辅助阳极相连，辅助阳极设于被镀工件的内部，超声设备固定于电镀槽的内部，主阳极、电源和被镀工件组成第一循环回路，辅助阳极和被镀工件组成第二循环回路。本发明解决了被镀工件内壁电镀的难题，适合具有不规则形状的被镀工件内壁的电镀。
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公开(公告)号：CN101241057B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200810034285.5
申请日：2008-03-06
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01N3/00
Abstract: 本发明涉及一种薄膜材料技术领域的薄膜材料微拉伸测试系统，包括样品台、样品结构、驱动机构和测量观察装置。样品台中的金属底座被吸附在真空吸附台上，然后通过铆接固定在XYZθ移动平台上面；样品结构中的移动平台通过支撑弹簧和支撑架相连，薄膜试样的一端与移动平台相连，另一端固定在支撑架上，标杆位于移动平台上靠近薄膜试样的一端；驱动机构中的拉伸杆的一端与力学传感器连接，另一端与XYZ移动平台固定，电磁驱动马达与XYZ移动平台相连。本发明部件制备工艺简单，操作方便，成本低，具有很好的线性，并且克服了拉伸过程中由支撑梁塑性变形而引起的实验误差。
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公开(公告)号：CN101149317A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710047682.1
申请日：2007-11-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种力学性能测试技术的用于薄膜力学性能测试的单轴微拉伸试件，包括U型支撑平台、移动平台、蛇形支撑弹簧、对中标记、位移标记，蛇形支撑弹簧连接U型支撑平台和移动平台，U型支撑平台和移动平台与薄膜试样的两端悬空相连，对中标记位于移动平台的上面，位移标记粘接在靠近薄膜试样、移动平台的尾端。本发明与国内外现有微拉伸试件相比，制备工艺可行，重现性好，成品率高，并且克服了拉伸过程中由支撑梁塑性变形而引起的实验误差。本发明集成式框架微拉伸试件适用于微机电系统中的各种单质金属、合金和复合材料等薄膜材料微观力学性能测试。
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公开(公告)号：CN102148988B
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201110099414.0
申请日：2011-04-20
Applicant: 上海交通大学 , 中国铁道科学研究院基础设施检测研究所
Abstract: 一种数字图像处理技术领域的基于FPGA的高速JPEG图像处理系统及其处理方法，包括：通过系统总线连接的图像输入设备、编码模块、中央处理器、码流存储设备和码流输出设备，图像输入设备获取原始图像序列且将图像序列发送至编码模块，编码模块对输入的图像序列进行压缩编码并将压缩码流输出至码流存储设备，中央处理器配置寄存器信息控制各个设备和模块的工作状态，同时响应编码模块输出的编码结束中断信号并通过DMA方式将码流存储设备中的压缩码流转移到码流输出设备中。本发明可以实现对输入图像序列的并行处理，采用JPEG标准中的基本系统，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN101376996B
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200810200426.6
申请日：2008-09-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: C25D1/00
Abstract: 本发明是一种微电铸装置，包括：阴极夹具，阴极，电铸液搅拌管，进液口，电场分布挡板，电场分布挡板定位挡板，出液口，阳极，微电铸槽。阳极和阴极夹具垂直设置于微电铸槽的侧面成彼此面对，阴极置于阴极夹具中，微电铸槽的侧板中设置有用于固定阳极和阴极夹具的定位挡板以及多个电场分布挡板定位挡板，电场分布挡板置于阳极与阴极之间，进液口置于与阴极相邻的侧板下方，电铸液搅拌管置于阴极正下方，并与进液口相连。出液口置于与阳极相邻的侧板上方。本发明的多组同心圆电场分布挡板和阴极夹具前夹具正面的环形辅助阴极确保晶圆上电场分布均匀，实现MEMS器件微结构层厚度均匀，操作便捷、实用性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101343033A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200810042164.5
申请日：2008-08-28
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种测试技术领域的薄膜性能测试用微型弹簧力学传感器的制作方法，步骤：玻璃片上，溅射金属Ti层，并作氧化处理，在溅射、氧化处理的玻璃片上，进行甩负性光刻胶、前烘、显影，根据掩模版设计的微型弹簧力学传感器形状，实现其光刻胶结构的图形化；在处理好氧化钛层上，电铸出Ni弹簧层；将微型弹簧力学传感器进行平坦化加工；在Ni电镀层上，采用电沉积技术进行对准标记和位移标记的沉积；去负胶、去残留玻璃、Ti溅射层后，最终得到微型弹簧力学传感器。本发明制备的微型弹簧力学传感器线性度好，工艺简单，分辨率高，成本低，而且易于和薄膜力学性能测试系统集成。
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公开(公告)号：CN101013637A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710037039.0
申请日：2007-02-01
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01H35/14
Abstract: 一种连体蛇形弹簧微型惯性电学开关，属于微机电系统技术领域。本发明包括：质量块电极、多孔梁固定电极、连体蛇形弹簧、绝缘衬底、缓冲层、弹簧支撑座以及梁支撑座；缓冲层位于绝缘衬底上方、质量块电极下方，弹簧支撑座以及梁支撑座固定在绝缘衬底上、位于质量块电极周围，连体蛇形弹簧与质量块电极相连，并被弹簧支撑座悬空，多孔梁固定电极被梁支撑座悬空、位于质量块电极上方、与质量块电极之间有间隙。本发明增进了带有连体蛇形弹簧质量块在外界加速度作用下运动的协调性，对质量块电极的高速反弹起到了很好的缓冲作用，同时也很好地改善了质量块电极与挡板电极间的接触效果。
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公开(公告)号：CN102148988A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201110099414.0
申请日：2011-04-20
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种数字图像处理技术领域的基于FPGA的高速JPEG图像处理系统及其处理方法，包括：通过系统总线连接的图像输入设备、编码模块、中央处理器、码流存储设备和码流输出设备，图像输入设备获取原始图像序列且将图像序列发送至编码模块，编码模块对输入的图像序列进行压缩编码并将压缩码流输出至码流存储设备，中央处理器配置寄存器信息控制各个设备和模块的工作状态，同时响应编码模块输出的编码结束中断信号并通过DMA方式将码流存储设备中的压缩码流转移到码流输出设备中。本发明可以实现对输入图像序列的并行处理，采用JPEG标准中的基本系统，结构简单，易于实现。
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公开(公告)号：CN101149317B
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN200710047682.1
申请日：2007-11-01
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种力学性能测试技术的用于薄膜力学性能测试的单轴微拉伸试件，包括U型支撑平台、移动平台、蛇形支撑弹簧、对中标记、位移标记，蛇形支撑弹簧连接U型支撑平台和移动平台，U型支撑平台和移动平台与薄膜试样的两端悬空相连，对中标记位于移动平台的上面，位移标记粘接在靠近薄膜试样、移动平台的尾端。本发明与国内外现有微拉伸试件相比，制备工艺可行，重现性好，成品率高，并且克服了拉伸过程中由支撑梁塑性变形而引起的实验误差。本发明一集成式框架微拉伸试件适用于微机电系统中的各种单质金属、合金和复合材料等薄膜材料微观力学性能测试。
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