光电融合硅基热光移相器
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117908279A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410161950.6

    申请日:2024-02-05

    Abstract: 一种光电融合硅基热光移相器,包括片上热光移相器,至少包括片上加热器和光波导,使经光波导输入的光信号I2通过调制后形成光信号O2输出;均衡电路,与所述加热器相连,用于接收电信号I1,且低频时,该均衡电路的阻抗远大于所述加热器的阻值,并随频率的升高,阻抗不断减小,使所述加热器的输出信号呈高通频率特性,即所述加热器上的功率信号O1作为输出信号与所述热光移相器的低通频响,即光信号O2互补,从而对热光移相器的调制带宽进行补偿。本发明补偿热光移相器的热容热阻,将调制带宽提升10倍以上,有望解决集成光电子芯片中对高速率热光移相的需求。

    基于纳米梁开关阵列的背向出射激光雷达发射芯片

    公开(公告)号:CN116111445A

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202310148036.3

    申请日:2023-02-22

    Abstract: 一种基于纳米梁开关阵列的背向出射激光雷达发射芯片,包括纳米梁开关路由网络、金属反射层和作为傅里叶变换透镜的超构表面透镜;纳米梁开关路由网络制作在所述芯片的正面,输入光信号进入纳米梁开关路由网络的纳米梁开关支路后,由特定的纳米梁开关单元路由至对应的纳米梁发射支路,由特定的纳米梁发射单元向自由空间发射,正面金属反射层将向上辐射的光波向下反射,最终所有向下发射的光波通过背面超构表面透镜向指定方向准直发射。本发明可以实现定向传输,同时实现开关选通和垂直发射的功能,硅基超构表面透镜可以作为傅里叶变换透镜实现高精度、大范围的波束扫描,为大规模制造硅基集成激光雷达发射芯片提供一种优越的技术路径。

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