公开(公告)号：CN1106460C

公开(公告)日：2003-04-23

申请号：CN97110533.2

申请日：1997-04-09

Applicant: 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社 ,  三菱麻铁里亚尔株式会社

Inventor： 齐藤正夫 ,  若林大介 ,  热海贵 ,  降屋久

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B15/18 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1088

Abstract: 本发明的目的是防止用来向坩埚103用的加热器104提供电流的导电金属电极5，5熔化下坠。开关11控制电源的通断。安培表10a连续地测量流过加热器104的电流。在中间电极6下部出现裂缝8的情况下，在电极5，5熔化下坠之前，由于裂缝8处出现放电现象，电流测量值会出现细小的波动。因此，如果安培表10a测量的电流波动超出允许范围，则控制器12切断开关11，从而切断电极5，5的电源，并防止电极5，5熔化下坠。

公开(公告)号：CN1168931A

公开(公告)日：1997-12-31

申请号：CN97110533.2

申请日：1997-04-09

Applicant: 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社 ,  三菱麻铁里亚尔株式会社

Inventor： 齐藤正夫 ,  若林大介 ,  热海贵 ,  降屋久

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B15/18 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008 ,  Y10T117/1088

Abstract: 本发明的目的是防止用来向坩埚103用的加热器104提供电流的导电金属电极5，5熔化下坠。开关11控制电源的通断。安培表10a连续地测量流过加热器104的电流。在中间电极6下部出现裂缝8的情况下，在电极5，5烷化下坠之前，由于裂缝8处出现放电现象，电流测量值会出现细小的波动。因此，如果安培表10a测量的电流波动超出允许范围，则控制器12切断开关11，从而切断电极5，5的电源，并防止电极5，5熔化下坠。