公开(公告)号：CN1047413C

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：CN96102527.1

申请日：1996-02-26

Applicant: 三菱麻铁里亚尔硅材料株式会社 ,  三菱麻铁里亚尔株式会社

Inventor： 松原顺一 ,  三宅雄治 ,  金刚寺博

IPC: C30B15/20

CPC classification number: B24B37/013 ,  C30B15/22 ,  C30B29/06 ,  H01L22/26 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及单晶硅锭及其制造方法。其底部侧等直径部的特性与顶部侧等直径部及中部侧等直径部的特性相近似，高品位单晶硅的制品数率高，而且在等直径部整个长度上的品质大致均匀。并可按同一形状反复制造，在每批制品间，底部的形状没有偏差。这种效果是通过控制底部22的直径D2使得等直径部侧底部2a的外表面相对于等直径部1的外表面连续具有10-25度的倾斜角θ而获得。