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公开(公告)号：CN101421189A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012705.3
申请日：2007-10-24
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272 , C01B33/10757
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。
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公开(公告)号：CN101489931B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN200780027354.3
申请日：2007-10-25
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在气体供给内筒的外侧，在气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。
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公开(公告)号：CN101421190A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012715.7
申请日：2007-10-24
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，具有将反应容器的内部加热的加热器部；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器内排出到外部；加热器部配置在反应容器的中央；反应流路配设在加热器部的周围。
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公开(公告)号：CN101489931A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780027354.3
申请日：2007-10-25
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在气体供给内筒的外侧，在气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。
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公开(公告)号：CN101421188A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780012696.8
申请日：2007-10-23
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；在反应容器的内部形成有反应流路，所述反应流路是使被大致同心配置的内径不同的多个反应筒壁分隔的多个小空间通过交替形成在这些反应筒壁的下部与上部上的流通用贯通部从内侧开始依次成为连通状态而形成的；在该反应流路上连接着气体供给部及气体排气部。
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公开(公告)号：CN101421189B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200780012705.3
申请日：2007-10-24
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272 , C01B33/10757
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；反应流路具有：供给侧流路，在反应容器的中央部连接在气体供给部上，使供给气体一边在反应容器内折回一边朝向外侧流动；返回流路，连接在供给侧流路的下游端，到达反应容器的中央部；排出侧流路，连接在返回流路的下游端，相邻于反应容器的中央部的供给侧流路而配设，连接在气体排气部上。
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公开(公告)号：CN101421190B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200780012715.7
申请日：2007-10-24
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，具有将反应容器的内部加热的加热器部；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器内排出到外部；加热器部配置在反应容器的中央；反应流路配设在加热器部的周围。
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公开(公告)号：CN101421188B
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN200780012696.8
申请日：2007-10-23
申请人： 三菱麻铁里亚尔株式会社
IPC分类号： C01B33/107
CPC分类号： C01B33/1071 , B01J12/007 , B01J19/02 , B01J19/243 , B01J2219/00135 , B01J2219/00155 , B01J2219/0272
摘要： 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器加热；气体供给部，将供给气体供给到反应容器内；气体排气部，将反应生成气体从反应容器排出到外部；在反应容器的内部形成有反应流路，所述反应流路是使被大致同心配置的内径不同的多个反应筒壁分隔的多个小空间通过交替形成在这些反应筒壁的下部与上部上的流通用贯通部从内侧开始依次成为连通状态而形成的；在该反应流路上连接着气体供给部及气体排气部。
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