公开(公告)号：CN100564586C

公开(公告)日：2009-12-02

申请号：CN200610094520.9

申请日：2002-12-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 阿部隆夫 ,  山越英男 ,  加藤光雄 ,  浅原裕司

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/509

Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。

公开(公告)号：CN1869282A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200610094520.9

申请日：2002-12-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 阿部隆夫 ,  山越英男 ,  加藤光雄 ,  浅原裕司

IPC: C23C16/26 ,  C23C16/509

Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。

公开(公告)号：CN1697763A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN02820736.X

申请日：2002-12-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 阿部隆夫 ,  山越英男 ,  加藤光雄 ,  浅原裕司

IPC: B65D23/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/509

Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。

公开(公告)号：CN100387492C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN02820736.X

申请日：2002-12-11

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 阿部隆夫 ,  山越英男 ,  加藤光雄 ,  浅原裕司

IPC: B65D23/02 ,  C23C16/26 ,  C23C16/509

Abstract: 一种对塑料容器内面形成碳膜的装置及内面覆盖碳膜的塑料容器的制造方法，其包括：有底筒状外部电极，其具有在插入作为被处理物的塑料容器时，包围除去该容器的口部及肩部的外周的大小；衬套，其由电介质材料构成，在插入了所述容器时，至少设于该容器口部及肩部和所述外部电极之间；排气管，其介由绝缘部件安装在设置所述容器口部的一侧的所述外部电极端面；内部电极，其由所述排气管侧插入所述外部电极内的所述容器内，其插入深度为所述容器的纵向的大致全长，并与接地侧连接，同时，穿设有用于排出介质气体的排气孔；排气装置，其被安装在所述排气管上；气体供给装置，其用于向所述内部电极供给介质气体；高频电源，其被连接在所述外部电极。