公开(公告)号：CN101547770A

公开(公告)日：2009-09-30

申请号：CN200780035521.9

申请日：2007-09-21

Applicant: 三菱综合材料株式会社 ,  TOTO株式会社

Inventor： 山下哲二 ,  力田直树 ,  木村高志 ,  尾久雅治 ,  芦泽宏明 ,  鸠野广典 ,  常田昌广

IPC: B24B53/12 ,  B24B37/00 ,  B24D3/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B53/12 ,  B24D3/08 ,  B24D18/00

Abstract: 本发明提供在磨粒周边部分具有优异耐腐蚀性的CMP修整器。对于在一面形成了磨粒固定于金属结合相中而成的磨粒层的磨石基体，在磨粒层的金属结合相表面利用溶胶凝胶法形成包含氧化物的第一保护层，接着向第一保护层的表面喷射在气体中分散脆性材料的微粒而成的气溶胶并使其碰撞来形成包含氧化物厚膜的第二保护层。