热轧铜合金板及溅射靶
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116917514A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202280016960.X

    申请日:2022-02-08

    Abstract: 该热轧铜合金板含有0.2质量%以上且2.1质量%以下的Mg和0.4质量%以上且5.7质量%以下的Al,剩余部分由Cu及不可避免的杂质构成,所述不可避免的杂质中,Fe的含量为0.0020质量%以下,O的含量为0.0020质量%以下,S的含量为0.0030质量%以下,P的含量为0.0010质量%以下,3≤∑≤29的各晶界长度之和Lσ与利用EBSD法测定的总晶界长度L的比率即特殊晶界长度比率(Lσ/L)为20%以上,板厚中心部的平均晶体粒径μA为40μm以下。

    热轧铜合金板及溅射靶
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116888289A

    公开(公告)日:2023-10-13

    申请号:CN202280017011.3

    申请日:2022-02-08

    Abstract: 该热轧铜合金板含有0.2质量%以上且2.1质量%以下的Mg、0.4质量%以上且5.7质量%以下的Al和0.01质量%以下的Ag,剩余部分由Cu及不可避免的杂质构成,利用EBSD法测定的Cube取向的面积率(晶体取向的面积率)为5%以下,当将相邻的像素间的取向差为5°以上的像素间的边界视为晶界时的KAM值的平均值为2.0以下,板厚中心部的平均晶体粒径μ为40μm以下。

    溅射靶材
    5.
    发明公开
    溅射靶材 审中-实审

    公开(公告)号:CN111836913A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN201980018145.5

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本发明提供一种溅射靶材,含有合计5质量ppm以上且50质量ppm以下的范围的选自Ag、As、Pb、Sb、Bi、Cd、Sn、Ni、Fe中的一种或两种以上,剩余部分由Cu及不可避免的杂质构成,当通过电子背散射衍射法进行观察,将不包括双晶而以面积平均计算出的平均晶粒直径设为X1(μm),并将极图的强度的最大值设为X2时,满足式(1):2500>19×X1+290×X2,并且通过电子背散射衍射法测定的晶体取向的局部取向差(KAM)为2.0°以下,相对密度为95%以上。

    溅射靶材
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111836913B

    公开(公告)日:2022-09-09

    申请号:CN201980018145.5

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本发明提供一种溅射靶材,含有合计5质量ppm以上且50质量ppm以下的范围的选自Ag、As、Pb、Sb、Bi、Cd、Sn、Ni、Fe中的一种或两种以上,剩余部分由Cu及不可避免的杂质构成,当通过电子背散射衍射法进行观察,将不包括双晶而以面积平均计算出的平均晶粒直径设为X1(μm),并将极图的强度的最大值设为X2时,满足式(1):2500>19×X1+290×X2,并且通过电子背散射衍射法测定的晶体取向的局部取向差(KAM)为2.0°以下,相对密度为95%以上。

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