公开(公告)号：CN111630415A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN201980008632.3

申请日：2019-01-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  增田晓雄

IPC: G02B1/14 ,  B23K26/16 ,  B32B9/00 ,  B32B15/04

Abstract: 光学部件具有：包括主面及在主面的背面侧形成的第二面的基板、和在主面及第二面中的至少主面形成的多层膜，基板至少含有Ge而形成，多层膜包含从接近基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜和DLC膜的至少4层层叠而成的膜。由此，能够提供使耐热性提高、不因热的影响而使光学特性恶化、发挥稳定的光学性能的光学部件。

公开(公告)号：CN109154678A

公开(公告)日：2019-01-04

申请号：CN201780028538.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  中井秀和

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/382 ,  C23C14/06 ,  C23C16/27 ,  G02B1/14

Abstract: 本发明提供一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。优选氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，优选Ge膜的膜厚为50nm～150nm，优选DLC膜的膜厚为50nm～300nm。优选氟化物膜由从通过YF3、YbF3及MgF2构成的组选择的至少一种构成。

公开(公告)号：CN111630415B

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN201980008632.3

申请日：2019-01-17

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  增田晓雄

IPC: G02B1/14 ,  B23K26/16 ,  B32B9/00 ,  B32B15/04

Abstract: 光学部件具有：包括主面及在主面的背面侧形成的第二面的基板、和在主面及第二面中的至少主面形成的多层膜，基板至少含有Ge而形成，多层膜包含从接近基板的一侧起依次将氧化物膜、氟化物无定形膜、Ge膜和DLC膜的至少4层层叠而成的膜。由此，能够提供使耐热性提高、不因热的影响而使光学特性恶化、发挥稳定的光学性能的光学部件。

公开(公告)号：CN109154678B

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：CN201780028538.5

申请日：2017-04-26

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 福永圭佑 ,  中井秀和

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/382 ,  C23C14/06 ,  C23C16/27 ,  G02B1/14

Abstract: 本发明提供一种光学部件，其特征在于，在Ge基板的至少单面，从该Ge基板侧起依次层叠有氟化物膜、Ge膜及类金刚石膜(DLC膜)。优选氟化物膜的膜厚为500nm～950nm，优选Ge膜的膜厚为50nm～150nm，优选DLC膜的膜厚为50nm～300nm。优选氟化物膜由从通过YF3、YbF3及MgF2构成的组选择的至少一种构成。

公开(公告)号：CN107710025A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680036058.9

申请日：2016-05-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中井秀和 ,  福永圭佑

IPC: G02B1/115 ,  B23K26/064 ,  B23K26/382 ,  G02B1/14 ,  H01S3/00

CPC classification number: B23K26/064 ,  B23K26/382 ,  G02B1/115 ,  G02B1/14 ,  H01S3/00

Abstract: 一种光学部件，其在Ge基板的至少单面形成有多层膜，在该光学部件中，所述多层膜的最表层为类金刚石层(DLC层)，在所述Ge基板和所述DLC层之间，形成有从由ZnS层及金属氧化物层构成的组中选择的至少1个层。优选与所述Ge基板相接的层从由ZnS层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。优选与所述DLC层相接的层从由ZnS层、SiO层、MgO层、Y2O3层、Bi2O3层、CeO2层、Cr2O3层、Ta2O5层、TiO2层、HfO2层及ZrO2层构成的组中选择。