光扫描装置以及光扫描装置的调整方法

    公开(公告)号:CN110892306A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201880030193.1

    申请日:2018-03-16

    Abstract: 光扫描装置(100)具备:镜部(1),具有对光进行反射的镜面(1B);N个支撑梁(2-1)~(2-4),能够摇动地支撑镜部(1);N个驱动梁(3-1)~(3-4);以及驱动用的多个压电元件(5-i-a~d(i=1~4)),被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值,将对多个压电元件(5-i-a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值,镜部(1)进动。

    光扫描装置以及光扫描装置的调整方法

    公开(公告)号:CN110892306B

    公开(公告)日:2022-02-22

    申请号:CN201880030193.1

    申请日:2018-03-16

    Abstract: 光扫描装置(100)具备:镜部(1),具有对光进行反射的镜面(1B);N个支撑梁(2‑1)~(2‑4),能够摇动地支撑镜部(1);N个驱动梁(3‑1)~(3‑4);以及驱动用的多个压电元件(5‑i‑a~d(i=1~4)),被粘结到N个驱动梁上。通过将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的频率设为确定的共同的值,将对多个压电元件(5‑i‑a、b、c、d)的各个提供的交流电压的相位设为与各压电元件的位置对应的确定的值,镜部(1)进动。

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