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公开(公告)号:CN1045189C
公开(公告)日:1999-09-22
申请号:CN96113060.1
申请日:1996-09-27
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: C01B13/11
CPC分类号: B01J19/088 , B01F3/02 , B01F5/0413 , B01F5/0453 , B01F13/1013 , B01F13/1016 , B01J19/26 , B01J2219/00105 , B01J2219/00126 , B01J2219/00132 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , C01B13/10 , C01B13/11
摘要: 本发明提供一种构造简单而且易于小型化的臭氧发生装置,它备有氧原子发生部6、臭氧发生部(喉部3和扩散部4)和减压供给部;氧原子发生部6使被供给来的氧气分解而生成氧原子,供给含有氧原子的第1气体;臭氧发生部使上述第1气体与从反应气体入口1供入的含有氧的第2气体混合并反应,生成臭氧;减压供给部将氧原子发生部6的压力减压低于1.01325×105(Pa)的预定低压,并将第1气体保持该低压状态地送到臭氧发生部。
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公开(公告)号:CN1160016A
公开(公告)日:1997-09-24
申请号:CN96113060.1
申请日:1996-09-27
申请人: 三菱电机株式会社
IPC分类号: C01B13/11
CPC分类号: B01J19/088 , B01F3/02 , B01F5/0413 , B01F5/0453 , B01F13/1013 , B01F13/1016 , B01J19/26 , B01J2219/00105 , B01J2219/00126 , B01J2219/00132 , B01J2219/00162 , B01J2219/00164 , C01B13/10 , C01B13/11
摘要: 本发明提供一种构造简单而且易于小型化的臭氧发生装置,它备有氧原子发生部6、臭氧发生部(喉部3和扩散部4)和减压供给部;氧原子发生部6使被供给来的氧气分解而生成氧原子,供给含有氧原子的第1气体;臭氧发生部使上述第1气体与从反应气体入口1供入的含有氧的第2气体混合并反应,生成臭氧;减压供给部将氧原子发生部6的压力减至低于大气压的预定低压,并将第1气体保持该低压状态地送到臭氧发生部。
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