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公开(公告)号:CN102510788B
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201180003626.2
申请日:2011-05-24
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/18 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2103/172
Abstract: 激光加工装置具有照射部和控制部,所述控制部使照射部在第1期间中进行第1切断加工,在所述第1期间之后的第2期间中进行第2切断加工,其中,该第1切断加工是指,以维持被加工物中的第1区域由第2区域保持的状态的方式,在所述被加工物中的所述第1区域和所述第2区域之间的区域中对被加工物进行切断,该第2切断加工是指,以使所述第1区域和在所述第1切断加工中附着在背面上的浮渣一起,与所述第2区域分离的方式,在位于所述被加工物中的所述第1区域和所述第2区域之间、并且通过所述第1切断加工中保护膜的一部分熔融而使所述背面露出的区域内对被加工物进行切断。
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公开(公告)号:CN102510788A
公开(公告)日:2012-06-20
申请号:CN201180003626.2
申请日:2011-05-24
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B23K26/18 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2103/172
Abstract: 激光加工装置具有照射部和控制部,所述控制部在第1期间中进行第1切断加工,在所述第1期间之后的第2期间中进行第2切断加工,其中,该第1切断加工是指,以维持被加工物中的第1区域由第2区域保持的状态的方式,在所述被加工物中的所述第1区域和所述第2区域之间进行切断,该第2切断加工是指,以使所述第1区域和在所述第1切断加工中附着在背面上的浮渣一起,与所述第2区域分离的方式,在位于所述被加工物中的所述第1区域和所述第2区域之间、并且通过所述第1切断加工中保护膜的一部分熔融而使所述背面露出的区域内进行切断。
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