公开(公告)号：CN113196479B

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN201980083012.6

申请日：2019-06-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 张坤好 ,  沈品均 ,  林重维

IPC: H01L27/06 ,  H01L21/8256

Abstract: 电路包括夹在第一缓冲层和第二缓冲层之间的铁电层，第一缓冲层与第一金属层的一部分接触，并且第一金属层延伸超过第一缓冲层。电介质层夹在第二金属层和第三金属层之间，使得第二金属层延伸超过电介质层并与第二缓冲层接触，其中，铁电电容器由第一金属层、夹在第一缓冲层和第二缓冲层之间的铁电层以及第二金属层形成。

公开(公告)号：CN113196479A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN201980083012.6

申请日：2019-06-25

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 张坤好 ,  沈品均 ,  林重维

IPC: H01L27/06 ,  H01L21/8256

Abstract: 电路包括夹在第一缓冲层和第二缓冲层之间的铁电层，第一缓冲层与第一金属层的一部分接触，并且第一金属层延伸超过第一缓冲层。电介质层夹在第二金属层和第三金属层之间，使得第二金属层延伸超过电介质层并与第二缓冲层接触，其中，铁电电容器由第一金属层、夹在第一缓冲层和第二缓冲层之间的铁电层以及第二金属层形成。