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公开(公告)号：CN101253018B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200680002183.4
申请日：2006-09-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种激光加工装置，其经由多个fθ透镜同时照射多个激光束，对载置于1个加工台上的多个工件进行激光加工，具有：偏差量计算部，其计算每个工件的位置偏差值，根据工件的加工方法，设定校正工件的位置偏差的加工台移动量校正值；偏差量判断部，其从预先设定的多种加工方法中选择与位置偏差值对应的加工方法；以及控制部，其使用与工件加工方法对应的校正值，对多个工件进行加工控制，其中，在某个工件处于fθ透镜的加工区域之外、且各工件间的位置偏差值的差小于规定值的情况下，偏差量计算部设定校正值，以使得所有的工件进入fθ透镜的加工区域内，偏差量判断部选择同时向所有的工件照射激光束，进行所有工件的同时加工的同时加工方法。
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公开(公告)号：CN101253018A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200680002183.4
申请日：2006-09-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 一种激光加工装置，其经由多个fθ透镜同时照射多个激光束，对载置于1个加工台上的多个工件进行激光加工，具有：偏差量计算部，其计算每个工件的位置偏差值，根据工件的加工方法，设定校正工件的位置偏差的加工台移动量校正值；偏差量判断部，其从预先设定的多种加工方法中选择与位置偏差值对应的加工方法；以及控制部，其使用与工件加工方法对应的校正值，对多个工件进行加工控制，其中，在某个工件处于fθ透镜的加工区域之外、且各工件间的位置偏差值的差小于规定值的情况下，偏差量计算部设定校正值，以使得所有的工件进入fθ透镜的加工区域内，偏差量判断部选择同时向所有的工件照射激光束，进行所有工件的同时加工的同时加工方法。
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