公开(公告)号：CN110360941A

公开(公告)日：2019-10-22

申请号：CN201910272081.3

申请日：2019-04-04

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 升元佑一 ,  上角彻 ,  山中信明 ,  中西洋介

IPC: G01B11/06

Abstract: 抑制受光部处的噪声的产生而提高膜厚测定精度。膜厚测定装置具备：工作台(1)，其仅与基板(2)的缘部接触；反射抑制部(12、13)，其位于与工作台分离开的位置，并且位于被工作台包围的区域；光源(4)；以及受光部(5)，第1光(8)和第2光(9)向受光部(5)入射，第1光(8)是从光源照射出的光被被测定膜的上表面反射后的光，第2光(9)是被基板的上表面反射后的光，反射抑制部位于与基板的露出在空气中的下表面分离开的位置，对入射的来自光源的光被反射至受光部这一情况进行抑制。

公开(公告)号：CN110360941B

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN201910272081.3

申请日：2019-04-04

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 升元佑一 ,  上角彻 ,  山中信明 ,  中西洋介

IPC: G01B11/06

Abstract: 抑制受光部处的噪声的产生而提高膜厚测定精度。膜厚测定装置具备：工作台(1)，其仅与基板(2)的缘部接触；反射抑制部(12、13)，其位于与工作台分离开的位置，并且位于被工作台包围的区域；光源(4)；以及受光部(5)，第1光(8)和第2光(9)向受光部(5)入射，第1光(8)是从光源照射出的光被被测定膜的上表面反射后的光，第2光(9)是被基板的上表面反射后的光，反射抑制部位于与基板的露出在空气中的下表面分离开的位置，对入射的来自光源的光被反射至受光部这一情况进行抑制。