公开(公告)号：CN1179005A

公开(公告)日：1998-04-15

申请号：CN97110595.2

申请日：1997-04-24

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伴功二 ,  出水清史

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L22/20

Abstract: 提供有效利用批在储存器中的待机时间、可缩短半导体制造所要期间的半导体制造系统。在含有多个半导体片子的批5保存在存储器4期间,利用测量装置2a～2c、检查装置3a～3c和异物除去装置6a、6b等非加工处理装置进行批5中的半导体片子的非加工处理。

公开(公告)号：CN1104047C

公开(公告)日：2003-03-26

申请号：CN97110595.2

申请日：1997-04-24

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伴功二 ,  出水清史

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/68 ,  H01L21/00

CPC classification number: H01L22/20

Abstract: 提供有效利用批在储存器中的待机时间、可缩短半导体制造所要期间的半导体制造系统。在含有多个半导体片子的批5保存在存储器4期间，利用测量装置2a～2c、检查装置3a～3c和异物除去装置6a、6b等非加工处理装置进行批5中的半导体片子的非加工处理。