形状测定装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110546455B

    公开(公告)日:2021-08-24

    申请号:CN201780089979.6

    申请日:2017-05-24

    Abstract: 提供形状测定装置,能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。形状测定装置具有:投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射;以及受光器,其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后,不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

    形状测定装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110546455A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201780089979.6

    申请日:2017-05-24

    Abstract: 提供形状测定装置,能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。形状测定装置具有:投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射;以及受光器,其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后,不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

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