公开(公告)号：CN114746986A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202080082908.5

申请日：2020-11-20

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 安龙杰 ,  草野智博 ,  小野由香子 ,  竹下宽 ,  清野健一

IPC: H01L21/304 ,  C11D17/08 ,  C11D7/22 ,  C11D7/26 ,  C11D7/36

Abstract: 本发明涉及一种硅氧化膜和/或硅氮化膜上的铈化合物除去用清洗液，其包含成分(A)和作为还原剂的成分(B)，成分(A)为选自由下述式(1)所表示的化合物及其衍生物、下述式(2)所表示的化合物及其衍生物、下述式(3)所表示的化合物及其衍生物以及下述式(4)所表示的化合物及其衍生物组成的组中的至少一种化合物。(上述式中，R1～R12和n分别与说明书中记载的定义相同。)。

公开(公告)号：CN107709239A

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201680038954.9

申请日：2016-06-27

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 堀田悠介 ,  武胁隆彦 ,  松尾武士 ,  清野健一

IPC: C01B39/54 ,  B01D53/94 ,  F01N3/10

CPC classification number: B01J29/763 ,  B01D53/94 ,  B01D53/9418 ,  B01D2255/50 ,  B01J35/0006 ,  B01J35/0026 ,  B01J35/1023 ,  C01B39/54 ,  F01N3/10

Abstract: 本发明提供不仅磷酸硅铝沸石(SAPO)所具有的高温水蒸气耐久性优异、低温水蒸气耐久性也优异的担载铜的SAPO。一种担载铜的沸石，是将铜担载于骨架结构中至少含有硅原子、磷原子和铝原子的沸石而得的沸石，满足下述(1)～(3)。(1)铜担载量(铜原子换算)为1.5重量％～3.5重量％。(2)由下述式(I)求得的UV－Vis－NIR吸收强度比小于0.35。强度(22000cm－1)/强度(12500cm－1)…(I)(3)硅原子含量满足下述式(II)。0.07≤x≤0.11…(II)，x为沸石骨架结构中的硅原子相对于硅原子、铝原子和磷原子的合计的摩尔比。