-
公开(公告)号：CN103502514A
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN201280018140.0
申请日：2012-04-13
Applicant: 三菱化学株式会社
CPC classification number: H01L21/0254 , C30B29/406 , C30B33/02 , H01L29/2003
Abstract: 本发明提供加工性优异的高品质III族氮化物结晶。通过将III族氮化物单晶在1000℃以上进行热处理，形成含有含III族元素的氧化物、氢氧化物和/或羟基氧化物的覆膜；将该覆膜除去；从而制造出III族氮化物结晶。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
