公开(公告)号：CN110095859B

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN201910075666.6

申请日：2019-01-25

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 关根久通 ,  永渡麻衣子 ,  佐藤圣也

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，在该光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。本发明的光扫描装置具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。

公开(公告)号：CN110095859A

公开(公告)日：2019-08-06

申请号：CN201910075666.6

申请日：2019-01-25

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 关根久通 ,  永渡麻衣子 ,  佐藤圣也

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  B81B3/00

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，在该光扫描装置中增大压电传感器的输出，改善S/N比。本发明的光扫描装置具有：反射镜，其具有光反射面；反射镜支撑部，其支撑上述反射镜；一对驱动梁，其配置于上述反射镜支撑部的两侧，以能够摆动上述反射镜支撑部的方式连接；驱动源，其设于上述驱动梁，包括多个压电薄膜的层叠体，且使上述反射镜支撑部摆动；以及压电传感器，其形成于与上述驱动梁或者上述驱动源连结的连结梁，且包括层数比上述多个压电薄膜少的压电薄膜。