公开(公告)号：CN101147303B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200680009593.1

申请日：2006-03-31

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  鸟取三洋电机株式会社

Inventor： 松下保彦 ,  中泽崇一

IPC: H01S5/343 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01S5/2231 ,  B82Y20/00 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01S5/2201 ,  H01S5/3202 ,  H01S5/34333 ,  H01S2304/04

Abstract: 本发明所述氮化镓系化合物半导体激光元件的制造方法，其特征在于，作为氮化镓衬底的结晶面，使用在(0001)Ga面的 方向上以绝对值倾斜0.16度以上5.0度以下的面，或者使用将向(0001)Ga面的 方向的偏离角度作为A、向(0001)Ga面的 方向的偏离角度作为B时(A2+B2)的平方根为0.17以上、7.0以下的面，且以/秒以上/秒以下的生长速度使活性层生长。由此，即使使用偏离角度大的氮化镓衬底，也能够提供斜率效率大、元件电阻减少、驱动电压降低、且制造合格率高、偏差少、能够发出高输出蓝紫色光的氮化镓系化合物半导体激光元件的制造方法以及由该方法制造的化合物半导体激光元件。

公开(公告)号：CN101147303A

公开(公告)日：2008-03-19

申请号：CN200680009593.1

申请日：2006-03-31

Applicant: 三洋电机株式会社 ,  鸟取三洋电机株式会社

Inventor： 松下保彦 ,  中泽崇一

IPC: H01S5/343 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01S5/2231 ,  B82Y20/00 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01S5/2201 ,  H01S5/3202 ,  H01S5/34333 ,  H01S2304/04

Abstract: 本发明所述氮化镓系化合物半导体激光元件的制造方法，其特征在于，作为氮化镓衬底的结晶面，使用在(0001)Ga面的 方向上以绝对值倾斜0.16度以上5.0度以下的面，或者使用将向(0001)Ga面的 方向的偏离角度作为A、向(0001)Ga面的 方向的偏离角度作为B时(A2+B2)的平方根为0.17以上、7.0以下的面，且以0.5/秒以上5.0/秒以下的生长速度使活性层生长。由此，即使使用偏离角度大的氮化镓衬底，也能够提供斜率效率大、元件电阻减少、驱动电压降低、且制造合格率高、偏差少、能够发出高输出蓝紫色光的氮化镓系化合物半导体激光元件的制造方法以及由该方法制造的化合物半导体激光元件。