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公开(公告)号:CN101714743A
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200910178590.6
申请日:2009-09-29
Applicant: 三洋电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种氮化物类半导体激光元件及其制造方法。该氮化物类半导体激光元件,具备:氮化物类半导体层,其形成于由氮化物类半导体构成的活性层上;和俯视时具有元件所需要的形状的电极层,该电极层包括:形成于氮化物类半导体层的与活性层相反侧的表面上且由Pt构成的第一金属层、形成于第一金属层的表面上且由Pd构成的第二金属层、和形成于第二金属层的表面上且由Pt构成的第三金属层。而且,第三金属层的厚度为第一金属层的厚度的10倍以上30倍以下。