光束照射装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100582812C

    公开(公告)日:2010-01-20

    申请号:CN200510128921.7

    申请日:2005-12-01

    CPC classification number: G01S17/42 G01S7/4811 G01S7/4817 G01S7/491 G01S17/48

    Abstract: 来自半导体激光器(100)的激光,入射到由透镜执行元件(300)支撑的照射透镜。已通过照射透镜的激光,根据透镜执行元件(300)的驱动,在Y-Z平面方向上其出射角度变化。由此,实施在目标领域中的激光的扫描。已通过照射透镜的激光,通过光束分离器(400)其一部分被反射而被分离。分离的光,通过聚光透镜(500)在PSD(600)上被聚焦。DSP控制电路(10),以来自PSD600的信号为基准,将已通过照射透镜的激光的扫描位置进行监视。因此,在照射位置从扫描轨道偏离时,控制执行元件驱动电路(40),将照射位置牵引到扫描轨道。根据该光束照射装置,在简单朴素的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。

    光束照射装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1808174A

    公开(公告)日:2006-07-26

    申请号:CN200510128921.7

    申请日:2005-12-01

    CPC classification number: G01S17/42 G01S7/4811 G01S7/4817 G01S7/491 G01S17/48

    Abstract: 来自半导体激光器(100)的激光,入射到由透镜执行元件(300)支撑的照射透镜。已通过照射透镜的激光,根据透镜执行元件(300)的驱动,在Y-Z平面方向上其出射角度变化。由此,实施在目标领域中的激光的扫描。已通过照射透镜的激光,通过光束分离器(400)其一部分被反射而被分离。分离的光,通过聚光透镜(500)在PSD(600)上被聚焦。DSP控制电路(10),以来自PSD600的信号为基准,将已通过照射透镜的激光的扫描位置进行监视。因此,在照射位置从扫描轨道偏离时,控制执行元件驱动电路(40),将照射位置牵引到扫描轨道。根据该光束照射装置,在简单朴素的构成下、能实现顺利且稳定的扫描动作。

Patent Agency Ranking