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公开(公告)号：CN118778360A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202410352727.X
申请日：2024-03-26
Applicant: 三星SDI株式会社 , 三星电子株式会社
Inventor： 南宫烂 , 河京珍 , 朴贤 , 宋大锡 , 金旼秀 , 诸相炫 , 金俊秀 , 刘昭燕 , 朴秀敏 , 洪锡九
IPC: G03F7/004
Abstract: 提供了一种抗蚀剂顶涂层组合物和使用所述组合物形成图案的方法。抗蚀剂顶涂层组合物包含：共聚物，所述共聚物包括由化学式M‑1表示的第一结构单元和由化学式M‑2表示的第二结构单元；和溶剂。
