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公开(公告)号：CN1924080A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610127710.6
申请日：2006-08-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/26
Abstract: 本发明公开一种加热器和一种具有该加热器的汽相沉积源，通过确保熔化罐的温度均匀性，能够在板上镀均匀厚度的材料。该加热器设置在一个沉积装置的熔化罐的上侧或下侧至少之一上，用于加热所述熔化罐。该加热器包括复数个有不均匀的节距的弯曲。该加热器中心部分的节距比在所述加热器两个边缘部分处的节距大。这样，所述复数个有不均匀节距的弯曲可降低加热器的中心部分与加热器的边缘部分之间的温度差，从而使镀料蒸发均匀，进而使镀料的厚度均匀。
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公开(公告)号：CN1924082A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112373.3
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 本发明提供一种用于沉积有机层的装置和一种用于控制该装置的加热单元的方法。该装置包括设置于沉积室内、用于容纳蒸发材料的坩埚。该装置还包括加热单元，其具有用于加热该坩埚的第一和第二热源。壳体隔绝从加热单元发出的热量，外壁固定该坩埚。喷嘴喷射从该坩埚蒸发的材料。第一和第二热源分别置于该坩埚的第一侧和第二侧，并且被独立地控制，以使为稳定沉积速率所需的时间最少。
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公开(公告)号：CN1924079A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610127709.3
申请日：2006-08-30
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243
Abstract: 本发明公开一种线型沉积源，该沉积源能够通过使用板型加热源来提高加热效率并且降低加热温度，和/或能够通过在一个壳体中包括一个具有冷却水管线(或者通道)的冷却套来提高冷却效率。所述线型沉积源包括：布置在一个沉积室中的坩埚，所述坩埚用于蒸发包括在所述坩埚中的材料；加热源，用于对所述坩埚加热；壳体，用于隔绝从加热源发出的热量；外壁，用于固定所述坩埚；和喷嘴单元，用于喷射从所述坩埚蒸发的材料。在该沉积源中，所述加热源是板型加热源，并且所述壳体具有冷却水管线，从而冷却水可以流过该冷却水管线。
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公开(公告)号：CN1924081A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112370.X
申请日：2006-08-31
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/545
Abstract: 本发明公开用于无机层的沉积源和用于控制其热源的方法，通过使为达到稳定的沉积速率所需的时间最少，能够提高沉积效率、防止喷嘴的凝结，和/或精确地控制温度。该沉积源包括：具有用于施加热量到该坩埚的加热源的加热单元，用于隔绝从加热单元发出的热量的壳体；用于固定坩埚的外壁；和用于喷射从坩埚中蒸发的沉积材料的喷嘴单元。该加热单元包括第一单元和第二单元。该坩埚置于第一单元和第二单元之间，并且该加热单元包括用于向第一单元供电的第一电源和用于向第二单元供电的第二电源。
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