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公开(公告)号：CN1752273A
公开(公告)日：2006-03-29
申请号：CN200510106632.7
申请日：2005-09-22
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明提供一种对向靶溅射装置和利用该装置的有机电致发光显示装置的制造方法，通过使用圆板型的对向靶来防止薄膜形成时所产生的具有高能量的粒子与基片碰撞而引起的膜损伤，并通过在所述圆板型对向靶的周围旋转多个基片形成薄膜而适于大量生产。本发明包含：室部，该室部包含形成壳体的室和可以沿着所述室内壁安装多个基片的基片安装部；至少一个溅射靶部，该溅射靶部包含相隔一定距离而对置并形成约束空间的一对对向溅射靶和分别设置在所述一对靶的后面并在所述约束空间中产生磁场的磁场产生单元。
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