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公开(公告)号：CN115808848A
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN202211114984.7
申请日：2022-09-14
Applicant: 三星SDI株式会社
Inventor： 朴仁杰 , 周范俊
IPC: G03F7/11 , G03F7/00 , G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种包含由化学式1表示的化合物和溶剂的硬掩模组成物、包含所述硬掩模组成物的固化产物的硬掩模层，以及由所述硬掩模组成物形成图案的方法。其中，化学式1的定义如本说明书中所描述。[化学式1]。
