-
公开(公告)号：CN110027910B
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN201811438206.7
申请日：2018-11-27
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： B65G49/06
摘要： 提供能够从至少在规定方向上被分割成多个分割单元的基板多次划分分割单元并从基板载置部顺畅且适当搬出的基板搬出装置。基板搬出装置(1)的特征在于，其具有：基板载置部(2)，其载置有在规定方向上被分割成多个分割单元的基板(F)；片材(3)，其覆盖载置在基板载置部(2)上的基板(F)的上表面；片材移送部(100)，其在规定方向上输送片材(3)；以及搬出部(300)，其搬出未被片材(3)覆盖的基板(F)的分割单元。
-
公开(公告)号：CN108147062B
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN201710800226.3
申请日：2017-09-06
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： B65G45/18 , B65G49/06 , H01L21/304 , B25H7/04
摘要： 本发明涉及输送体、输送装置以及划线系统，其能够以简单的构成顺畅地对工作台的上表面进行清扫。输送体(300)保持基板(10)并从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送该基板(10)。输送体(300)包括第一清扫单元(240)，该第一清扫单元(240)配置于基板(10)的输送方向后方，在从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送基板(10)的工序中，该第一清扫单元(240)与第一工作台(110)的上表面接触，对第一工作台(110)的上表面进行清扫。第一清扫单元(240)包括作为清扫工具的刷(241)，刷(241)边与第一工作台(110)的上表面接触，边进行移动，从而对第一工作台(110)的上表面进行清扫。
-
公开(公告)号：CN105936093B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201511009803.4
申请日：2015-12-29
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
发明人： 西尾仁孝
IPC分类号： B28D1/22 , B28D5/02 , C03B33/033
摘要： 本发明使用普通轮使基板的表面损伤为最小，且基板的切断面美观。本发明是为了切断基板而在基板的上表面形成划线的划线形成方法，使用普通轮，以使由轮引起的基板表面的塑性变形深度间歇地变深或变浅的方式一边前进移行，一边形成划线。
-
公开(公告)号：CN110039594A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201811430288.0
申请日：2018-11-27
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
摘要： 提供能够抑制基板的损伤、并且适当调整刀头相对于基板的进入量的切断头和切断装置。切断头(10)的特征在于，其具有：保持架(122)，其用于支承用于切断基板(F)的刀头(121)；驱动部(11)，其使保持架(122)在基板(F)的厚度方向上移动；辊(134)，其与保持架(122)一体地移动，并且在基板(F)的表面滚动；以及调整机构，其用于调整基板(F)的厚度方向上的刀头(121)与辊(134)的端缘间的距离，在通过驱动部(11)使刀头(121)进入基板(F)的内部规定距离时，辊(134)与基板(F)的表面抵接而抑制刀头(121)的进入。
-
公开(公告)号：CN110021538A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201811610772.1
申请日：2018-12-27
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 技术问题：提供一种能够实现装置的小型化并且能够使分离对象平顺地从基板分离的基板分离机构。解决方案：一种从分割成多个的基板分离一部分的基板分离装置，其具备：吸附部(10)，其用于吸附分离对象(Q)；按压部(20)，其用于按压分离对象(Q)的邻接位置；支撑体(30)，其支撑吸附部(10)；第一驱动部(40)，其使支撑体(30)相对于基板接近及远离；以及第二驱动部(50)，其设置于支撑体(30)并使按压部(20)相对于基板接近及远离，第二驱动部(50)使按压部(20)以如下所述的行程相对于支撑体(30)移动，该行程比吸附部(10)与基板的分离对象(Q)抵接时的支撑体(30)与吸附部(10)之间的距离长。
-
公开(公告)号：CN109927183A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201811516035.5
申请日：2018-12-12
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
摘要： 一种拾取单元，在从母基板拾取单位基板时，能够以不会与边料区域之间产生摩擦等的方式进行取出。其具备：单元主体，以能够上下移动的方式配置在载置于工作台的母基板的上方；真空吸附盘，形成于单元主体，吸附单位基板的上表面；抽气源，经由气体管道与真空吸附盘的抽吸口连通；以及按压部件，能够升降，在真空吸附盘的周边保持于单元主体，用于按压边料区域的上表面。按压部件构成为：在单元主体下降而利用真空吸附盘吸附单位基板时，朝向边料区域下移而按压边料区域，并且在单元主体进入上升过程而使被吸附的单位基板从边料区域分离后，与边料区域分离而与单元主体一同上升。
-
公开(公告)号：CN109320060A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810705093.6
申请日：2018-07-02
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： C03B33/03 , C03B33/027
摘要： 技术问题：提供一种能够抑制输送过程中的基板表面的损伤、微小异物的附着并获得高品质产品的划线装置。解决手段：采用如下结构，即具备：气浮单元，其在基板(W)输送时以及划线时从浮台(1、11)表面喷出空气而使基板(W)浮起；夹具(2、12)，其把持浮起的基板(W)的端部并沿着水平方向移动，且在划线时固定保持基板(W)；以及划线机构，其对浮起的基板(W)的表面加工划分线。
-
公开(公告)号：CN109318375A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201810793557.3
申请日：2018-07-18
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： B28D1/22 , B28D1/24 , B28D5/02 , B28D7/02 , B28D7/04 , C03B33/027 , C03B33/03 , C03B33/033 , C03B33/07
摘要： 本发明提供一种能够减轻基板加工过程中的粉尘等微小异物的飞散并防止粉尘附着于基板而得到高品质的产品的粉尘飞散防止装置及具备该粉尘飞散防止装置的基板加工装置。本发明的粉尘飞散防止装置具备加工部用粉尘飞散防止装置(15A)和搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)，加工部用粉尘飞散防止装置(15A)具备：罩(15)，其以隔开空间的方式覆盖基板加工部；以及减压机构，其始终对该罩(15)内的空间进行减压，搬运部用粉尘飞散防止装置(14A、16A)具备：罩(14、16)，其以隔开空间的方式覆盖基板(W)的表面；以及加压机构，其始终对该罩(14、16)内的空间进行加压。
-
公开(公告)号：CN108147062A
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201710800226.3
申请日：2017-09-06
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
IPC分类号： B65G45/18 , B65G49/06 , H01L21/304 , B25H7/04
CPC分类号： B65G45/18 , B25H7/04 , B65G49/061 , H01L21/3043
摘要： 本发明涉及输送体、输送装置以及划线系统，其能够以简单的构成顺畅地对工作台的上表面进行清扫。输送体(300)保持基板(10)并从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送该基板(10)。输送体(300)包括第一清扫单元(240)，该第一清扫单元(240)配置于基板(10)的输送方向后方，在从第一工作台(110)向第二工作台(410)输送基板(10)的工序中，该第一清扫单元(240)与第一工作台(110)的上表面接触，对第一工作台(110)的上表面进行清扫。第一清扫单元(240)包括作为清扫工具的刷(241)，刷(241)边与第一工作台(110)的上表面接触，边进行移动，从而对第一工作台(110)的上表面进行清扫。
-
公开(公告)号：CN104129908B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201410364041.9
申请日：2013-04-03
申请人： 三星钻石工业股份有限公司
发明人： 西尾仁孝
摘要： 本发明是有关于一种防止基板在传送移载时落下或碎裂发生的基板分断装置及基板分断装置的基板搬送方法。该基板分断装置包含：第1传送部及第2传送部，沿基板的搬送方向即第1方向隔着间隔配置，且具备在载置该基板的状态下卷绕于多个辊子而进行旋转的带部；刻划单元，设置于该间隔；以及跳动辊子单元，在第1方向，设置在上游侧第2传送部与下游侧第2传送部之间，至少具备第1辊子与第2辊子；该第1辊子位于该第2传送部的带部外侧，且该第2辊子位于该第2传送部的带部内侧；该第1辊子及该第2辊子，在与该第1方向交叉的第2方向，形成为可相互地往相反方向移动。本发明还提供一种基板分断装置的基板搬送方法。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
113 条记录 (耗时 0.047 秒)
