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公开(公告)号：CN116690814A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310693858.X
申请日：2019-08-26
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
IPC: B28D5/00 , H01L21/304 , B28D5/02 , C30B29/40 , C30B33/00
Abstract: 本发明提供一种GaN基板的切断方法，该GaN基板的切断方法通过使用在外周形成有槽部的刻划轮对GaN基板进行刻划，从而能够在GaN基板形成切断所需的刻划线，且能够在水平方向上不产生不需要的裂缝的情况下沿着该刻划线将GaN基板切断。本发明的GaN基板的切断方法使用在外周形成有槽部(5)的刻划轮(1)将GaN基板切断，该GaN基板的切断方法具有：刻划工序，在刻划工序中，使刻划轮(1)的刀尖(2)相对于GaN基板垂直接触，对刻划轮(1)施加载荷并使该刻划轮(1)滚动，从而形成刻划线(L)；断开工序，在断开工序中，将形成有刻划线(L)的GaN基板切断。
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公开(公告)号：CN102441942B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201110303693.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 本申请的发明是一种划线轮。本发明可使沿着圆周脊线形成沟槽的划线轮的寿命长寿命化。沿着划线轮的圆周形成V字形的刃尖(13)。在成为刃尖(13)的圆周部分以固定间距形成微小的U字形的沟槽(14)。该沟槽(14)之间成为突起。当在沟槽与突起的交点处从沟槽侧向最接近交点的位置拉引切线时，使沟槽的两端的切线所成的切线交叉角(α1)为90°以上且135°以下。由此减少使用划线轮进行划线时的刃尖的缺损，从而可使划线轮长寿命化。
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公开(公告)号：CN104002389A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201410065484.8
申请日：2014-02-25
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
Inventor： 浅井义之
Abstract: 本发明是关于一种在较一般的非晶质的玻璃基板更硬的陶瓷基板等脆性材料基板形成刻划线时，刀刃前端部分的耐磨耗性高的刻划轮、保持具单元、刻划装置及刻划轮的制造方法。其中，刻划轮（40），用于分断较非晶质的玻璃基板更硬的脆性材料基板（17），且以由多结晶CVD钻石构成的构件形成。因此，在对脆性材料基板（17）进行分断的情形，不会产生如PCD制的刻划轮般的结合材的脱落，因此成为刀刃部（43）的耐磨耗性高，且寿命长的刻划轮。
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公开(公告)号：CN116601341A
公开(公告)日：2023-08-15
申请号：CN202180080243.9
申请日：2021-12-06
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
IPC: C30B33/00
Abstract: 本发明提供一种能够将氧化镓基板纵横地切断成格子状的实用的氧化镓基板的加工方法。使用主面为(001)面的氧化镓基板，将与主面和(100)面的交线平行的方向设为X方向，沿着与X方向平行的切断预定线通过刻划工具进行在主面上刻设切槽的机械刻划加工，并且通过沿着与Y方向平行的切断预定线扫描激光束而进行使该切断预定线变质的激光刻划加工，以沿着机械刻划加工后以及激光刻划加工后的X方向以及Y方向的切断预定线断开的方式进行切断。
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公开(公告)号：CN105417943A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510547411.7
申请日：2015-08-31
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
Inventor： 浅井义之
Abstract: 本发明公开了刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具，提供能增长能使用的寿命且同时以利用刻划点形成的刻划线的方式形成高精度的刻划线的刻划装置、刻划方法、保持具单元及保持具。一种刻划装置，具备：刻划轮31；保持具单元30，具有将刻划轮旋转自如地轴支的销32与保持销的保持具40；刻划头，具有安装保持具单元的保持具接头部与使保持具单元升降的升降部；以及载台，载置脆性材料基板，其特征在于，保持具的插入孔43a、43b在上下方向形成为较长，通过保持具单元的升降使刻划轮接触基板后，刻划轮往上方移动，而与形成于保持具的旋转抑制部60抵接，以抑制刻划轮的旋转。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105036533A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510117699.4
申请日：2015-03-17
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
IPC: C03B33/02
Abstract: 本发明是关于一种能够对脆性材料基板藉由“外切”方法以低负载确实地形成刻划线的刻划用刀轮及刻划装置。具备有由成为刃前端的圆形棱线、与从该棱线连续的左右斜面构成的刃前端区域的刀轮，其由左右斜面形成的刃前端角度为125°以上的钝角，刃前端区域的宽度，以与预定的刻划线的宽度相等或者为其以下的值即10μm～30μm形成。
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公开(公告)号：CN102557422B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201110243195.9
申请日：2011-08-18
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
Abstract: 本发明是一种刻划轮及其制造方法。本发明的课题在于，针对沿圆板状轮的圆周形成有V字形的刃尖的刻划轮，提高经刻划并切断的脆性材料基板的端面强度。通过粗研磨使刻划轮的圆周形成为V字状而制成研磨面(13)，接着以使前端部分成为所需的顶角(α2)的方式进行精研磨而形成研磨面(16)。进而对研磨面(16)进行超精研磨而形成研磨面(17)。这样，可减少刃尖脊线的凹凸，且可提高刻划时脆性材料基板的端面强度。
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公开(公告)号：CN102441942A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201110303693.8
申请日：2011-09-29
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
CPC classification number: Y02P40/57
Abstract: 本申请的发明是一种划线轮。本发明可使沿着圆周脊线形成沟槽的划线轮的寿命长寿命化。沿着划线轮的圆周形成V字形的刃尖(13)。在成为刃尖(13)的圆周部分以固定间距形成微小的U字形的沟槽(14)。该沟槽(14)之间成为突起。当在沟槽与突起的交点处从沟槽侧向最接近交点的位置拉引切线时，使沟槽的两端的切线所成的切线交叉角(α1)为90°以上且135°以下。由此减少使用划线轮进行划线时的刃尖的缺损，从而可使划线轮长寿命化。
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公开(公告)号：CN112008890B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010345297.0
申请日：2020-04-27
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
Abstract: 本发明公开了保持具单元及销，本发明所提供的保持具单元能够容易地形成沿保持具单元的扫描方向的划线线条。在保持具单元(40)中，支承划线轮(60)的销(70)具备限制部(80)，所述限制部(80)阻止销(70)的轴向上的相对于销(70)的划线轮(60)的移动，通过划线轮(60)的被限制部与销(70)的限制部(80)在两点接触来支承划线轮(60)，从而抑制划线轮的偏差。
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公开(公告)号：CN112752637A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201980063202.1
申请日：2019-08-26
Applicant: 三星钻石工业股份有限公司
IPC: B28D5/00 , C30B29/38 , C30B33/00 , H01L21/301
Abstract: 本发明提供一种GaN基板的切断方法，该GaN基板的切断方法通过使用在外周形成有槽部的刻划轮对GaN基板进行刻划，从而能够在GaN基板形成切断所需的刻划线，且能够在水平方向上不产生不需要的裂缝的情况下沿着该刻划线将GaN基板切断。本发明的GaN基板的切断方法使用在外周形成有槽部(5)的刻划轮(1)将GaN基板切断，该GaN基板的切断方法具有：刻划工序，在刻划工序中，使刻划轮(1)的刀尖(2)相对于GaN基板垂直接触，对刻划轮(1)施加载荷并使该刻划轮(1)滚动，从而形成刻划线(L)；断开工序，在断开工序中，将形成有刻划线(L)的GaN基板切断。
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